Tenkovrstvé systémy

Abstract

Tato bakalářská práce je zaměřena na problematiku technologie vytváření tenkých vrstev. V úvodu se zabývá obecnou teorií této problematiky, rozebírá různé metody a způsoby nanášení tenkých vrstev, kdy je kladen větší důraz na metodu magnetronového naprašování, která je využita v experimentální části práce, a popisuje procedury, které jsou prováděny před a po samotném nanesením tenké vrstvy. V praktické části práce je popsáno magnetronové naprašovací zařízení NP-12 a jeho ovládání. Následně je proveden výběr a úprava vhodných substrátů, depozice tenkovrstvého systému pomocí magnetronového naprašování a analýza vlastností deponovaných tenkovrstvých vzorků.

This bachelor’s thesis is focused on the problematics of thin-film technology. In the beginning the work deals with a general theory of this problematics, discusses various methods and ways to lay a thin film, where more emphasis is placed on magnetron sputtering, which is used in the practical part of the work, and describes procedures that are performed before and after the application of the thin film. The magnetron sputtering coating machine NP-12 and its control are described in the practical part of the work. Subsequently the selection and adjustment of suitable substrates is made, the thin-film system is deposited using the magnetron sputtering method and the analysis of the properties of deposited thin-film samples is done.