Sondy SPM s integrovaným senzorem pro měření elektrických vlastností materiálů

Abstract

Bakalářská práce je zaměřena na úpravu sond s integrovaným senzorem využitelných pro měření vodivostních charakteristik povrchů v mikroskopii atomárních sil. V první části je uvedena teorie týkající se mikroskopie atomárních sil, vodivostního měření a depozice pomocí iontového svazku. Dále je zde popsán způsob výroby a limitace použití elektricky vodivých sond s opticky čtenou výchylkou. V praktické části jsou uvedeny hlavní problémy sond s integrovanými senzory při vodivostním měření. Dále je popsána samotná úprava sond, provedené měření s těmito sondami a návrhy pro zlepšení vlastností sond.

The bachelor's thesis is focused on the modification of probes with an integrated sensor usable for measuring conductivity characteristics of surfaces in atomic force microscopy. The first part presents the theory concerning atomic force microscopy, conductivity measurement and deposition using an ion beam. Furthermore, the method of production and limitation of the use of electrically conductive probes with optically read deflection is described. The practical part presents the main problems of probes with integrated sensors in conductivity measurements. Furthermore, the modification of the probes themselves, the measurements made with these probes and suggestions for improving the properties of the probes are described.