Výzkum pokročilých mikroskopických a litografických technik AFM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato bakalářská práce se zabývá testováním a úpravami environmentální komory pro mikroskop atomárních sil NTegra Prima a implementací dutých sond FluidFM do tohoto mikroskopu. Funkční implementace dutých sond do NTegra Prima spolu s možností řídit okolní atmosféru umožní provádět nanolitografické experimenty s danou sestavou. Nejprve je zmapován vývoj dutých sond a systému FluidFM. Jsou zmíněny jejich vlastnosti a uplatnění. V další části je představena použitá AFM sestava a environmentální komora. Je popsáno testování komory a navržené a realizované úpravy této komory. Byla úspěšně zajištěna plná funkčnost environmentální komory. Dále jsou uvedeny a zhodnoceny výsledky měření v nízkém vakuu. Na závěr je prezentována úspěšná implementace duté sondy do mikroskopu a výsledky měření topografie touto sondou. Výsledky tohoto měření dutou sondou jsou porovnány s měřením sondou normální.
This bachelor’s thesis is about testing and improving the environmental chamber for atomic force microscope NTegra Prime and implementing hollow probes FluidFM to this microscope. A functional implementation of hollow probes to NTegra Prima together with the ability to control the atmosphere allows us to carry out nanolithography experiments with this setup. At first, the development of hollow probes and the system FluidFM is mentioned together with properties and applications. In next chapter, the AFM setup and environmental chamber is introduced. Testing of the chamber is described and enhancements presented. Next, the results of measurements in vacuum are mentioned. At the end, the implementation of hollow probes together with measurements are presented. These results are compares with measurement results with normal probe.
This bachelor’s thesis is about testing and improving the environmental chamber for atomic force microscope NTegra Prime and implementing hollow probes FluidFM to this microscope. A functional implementation of hollow probes to NTegra Prima together with the ability to control the atmosphere allows us to carry out nanolithography experiments with this setup. At first, the development of hollow probes and the system FluidFM is mentioned together with properties and applications. In next chapter, the AFM setup and environmental chamber is introduced. Testing of the chamber is described and enhancements presented. Next, the results of measurements in vacuum are mentioned. At the end, the implementation of hollow probes together with measurements are presented. These results are compares with measurement results with normal probe.
Description
Citation
VANĚK, K. Výzkum pokročilých mikroskopických a litografických technik AFM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2022.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
bez specializace
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda)
doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)
doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (člen)
doc. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2022-06-16
Defence
Po otázkách oponenta bylo diskutováno
Použití napětí mezi vzorkem a hrotem.
Měření síly z odezvy na fotodetektoru.
Student na otázky odpověděl.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení