Now showing items 1-1 of 1

  • Příprava vrstevnatých struktur technologií PE CVD 

    Hoferek, Lukáš
    Tato práce je zaměřena na přípravu a charakterizaci tenkých vrstev připravených metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PE-CVD) na plošný substrát z křemíku. Součástí práce byla rozsáhlá charakterizace depozičního ...