Studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách

Gretz, Leoš

Study on the behavior of heavy metals in gettering multilayers

Grade

Altmetrics

Metadata

Show full item record

Abstract

Cílem práce je analyzovat chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách (tvořených vrstvami polykrystalického křemíku oddělených vrstvami oxidu křemíku) a porovnat ho s getračním chováním ve vrstvách tvořených pouze polykrystalickým křemíkem.

This thesis is devoted to the behavior of heavy metals in gettering multilayers made of polysilicon and silicon oxide.

Keywords

Si deska, kontaminace, SIMS, hloubkové profilování, Si wafer, contamination, SIMS, depth profiling

Language

čeština (Czech)

Study brunch

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie

Composition of Committee

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Date of defence

2010-06-16

Process of defence

Result of the defence

práce byla úspěšně obhájena

Persistent identifier

http://hdl.handle.net/11012/23047

Source

GRETZ, L. Studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2010.

Collections

2010 [481]