Analýza nadzvukového proudění plynu v diferenciálně čerpané komoře elektronového mikroskopu

Abstract

V práci bude nejprve stručně popsána problematika elektronové mikroskopie a fyzikální model proudění tekutiny. Následně předložená diplomová práce se bude zabývat analýzou a vyhodnocením vlivu nadzvukového proudění na tlak a hustotu v dráze primárního svazku elektronů v komoře diferenciálního čerpání. Jako nástroje pro analýzu, vyhodnocení a prozkoumání dané problematiky budou použity systémy CAD a CAE (Computer Aided Engineering - počítačová podpora inženýrských prací). Současně bude vytvořena metodika výpočtu uplatnitelná pro nadzvukové proudění v oblasti nízkých tlaku v systému ANSYS CFX.

This work describes briefly electron microscopy issue and physical model of fluid flow. Then presented diploma thesis will be describing analysis and evaluation of the impact of supersonic flow on the pressure and density in the path of the primary electron beam in the differential pumping chamber. For analysis, evaluation and examination of the issue will be used CAD and CAE (Computer Aided Engineering) programs. At the same time it will be developed a methodology of calculation applicable to supersonic flow in the low pressure system at ANSYS CFX.