Návrh a simulace čipu mikrobolometru v MEMS technologii
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato diplomová práce zkoumá problematiku detektoru infračerveného záření nazývaného bolometr. Cílem je pokrok v detekci infračerveného záření použitím odlišné absorpční vrstvy modifikovanou karbonovými nanotrubicemi. V teoretické části jsou uvedeny základní fyzikální pojmy z problematiky teplotního managmentu a základních fyzikálních vztahů bolometru. Design bolometru je představen a popsán. Teplotně mechanické simulace předvídají chování bolometru při detekci infračerveného záření. PSpice model je vytvořen a kombinuje termální a elektrické vlastnosti čipu bolometru. Dále je uveden proces výroby bolometru, které je detailně popsán.
This master thesis studies the infrared detector called bolometer. The task is to improve the infrared detection by using different type of absorption layer modified by the carbon nanotubes. In theoretical part there are basic terms of thermal engineering and basics definitions of bolometer physics. The bolometer design is presented and described. The thermal mechanical simulations are evaluating the operation behavior. PSpice model of bolometer is created combing the thermal and electrical properties of the bolometer chip. The fabrication process is then presented and detailed described.
This master thesis studies the infrared detector called bolometer. The task is to improve the infrared detection by using different type of absorption layer modified by the carbon nanotubes. In theoretical part there are basic terms of thermal engineering and basics definitions of bolometer physics. The bolometer design is presented and described. The thermal mechanical simulations are evaluating the operation behavior. PSpice model of bolometer is created combing the thermal and electrical properties of the bolometer chip. The fabrication process is then presented and detailed described.
Description
Citation
SVATOŠ, V. Návrh a simulace čipu mikrobolometru v MEMS technologii [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
en
Study field
Mikroelektronika
Comittee
doc. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D. (předseda)
prof. Ing. Lubomír Hudec, DrSc. (místopředseda)
prof. Ing. Lukáš Sekanina, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radovan Novotný, Ph.D. (člen)
Dr.techn. Ing. Mária Bendová (člen)
Date of acceptance
2014-06-10
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cílem a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Další otázky na téma: reálné vyrobitelnosti senzoru, úspěšnosti výrobního procesu, možnost aplikace organických materiálů a možných změnách které by bylo v budoucnu vhodné realizovat student také zodpověděl.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení