Analýza proudění plynu v diferenciálně čerpané komoře v závislosti na tvaru vstupní trysky

Abstract

U environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu je nutné oddělit komoru vzorku s tlakem aţ 2000 Pa od prostředí tubusu s tlakem 0.01 Pa diferenciálně čerpanou komorou. Tato diferenciálně čerpaná komora musí být konstruována tak, aby nejen dokázala dostatečně oddělit od sebe oblasti s velmi rozdílnými tlaky, ale také v dráze prolétávajících primárních elektronů musí být co nejniţší průměrná hodnota tlaku a hustoty, aby docházelo k co nejniţšímu rozptylu těchto elektronů vzniklým sráţkami elektronů s molekulami vzduchu. Byly vytvořeny osově symetrické 2D modely variant tvaru diferenciálně čerpané komory s různými úhly rozevření kuţele, které byly analyzovány s cílem vybrat optimální variantu. Pro analýzy byl pouţit systém Ansys Fluent vyuţívající metodu konečných objemů pro analýzu proudění tekutin

It is necessary to separate sample chamber with pressure up to 2000 Pa and the surroundings of tube with pressure 0.01 Pa with help of a differential pumped chamber at the environmental scanning electron microscope This differential pumped chamber is to be designed so that it has to manage to separate sections with very different pressures sufficiently and in the trajectory of transitting (overflying) prime electrons the average value of pressure and density has to be as low as possible, so that it would occure the lowest diffusion of these electrons, which is caused by collisions of electrons and air molecules too. It were created axisymmetric 2D models variant of Differentially pumped chamber with different opening angles of the clone, which were analyzed to choose the best variant. The Ansys Fluent systeme using finite volume method for analysis of fluid flow was used for analysis.