Vliv pracovních podmínek na velikost signálu získaného pomocí BSE detektoru
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato práce se zabývá zhodnocením kvality signálu zpětně odražených elektronů detekovaných scintilačním detektorem v závislosti na nastavených pracovních podmínkách v nízkovakuovém rastrovacím elektronovém mikroskopu. V teoretické části práce je popsána problematika enviromentální rastrovací elektronové mikroskopie, princip vzniku signálů a detekce zpětně odražených elektronů. Cílem experimentální části práce je měření vlastností scintilačního detektoru zpětně odražených elektronů. Sérií experimentů je vyhodnocován vliv pracovních podmínek na stabilitu a funkci detektoru zpětně odražených elektronů.
This thesis deals with the evaluation of the quality of the signal level of backscattered electrons detected by the scintillation backscattered electron detector depending on the working conditions in low vacuum scanning electron microscope. The theoretical part describes the issue of environmental scanning electron microscopy, the principle of generation the signal and detection of backscattered electrons. The experimental part of the thesis is to measure the properties of the scintillation detector of backscattered electrons. A series of experiments is evaluated the influence of working conditions on the stability and function of the detector of backscattered electron.
This thesis deals with the evaluation of the quality of the signal level of backscattered electrons detected by the scintillation backscattered electron detector depending on the working conditions in low vacuum scanning electron microscope. The theoretical part describes the issue of environmental scanning electron microscopy, the principle of generation the signal and detection of backscattered electrons. The experimental part of the thesis is to measure the properties of the scintillation detector of backscattered electrons. A series of experiments is evaluated the influence of working conditions on the stability and function of the detector of backscattered electron.
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop, nízkovakuový rastrovací elektronový mikroskop, Everhart – Thornley scintilační detektor, scintilační detektor zpětně odražených elektronů, zpětně odražené elektrony, poměr signál – šum, osciloskopická metoda vyhodnocení signálu, vyhodnocování signálu ze stupňů šedi., Scanning electron microscope, low vacuum scanning electron microscope, Everhart – Thornley scintillation detector, scintillation detector of backscattered electron, backscattered electrons, signal – noise ratio, oscilloscope signal evaluation method, signal evaluation of grayscale
Citation
BEDNÁŘ, E. Vliv pracovních podmínek na velikost signálu získaného pomocí BSE detektoru [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (předseda)
doc. Ing. Radek Polanský, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Zdenka Rozsívalová (člen)
Ing. Bohuslav Res, CSc. (člen)
Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2014-06-16
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky v diskuzi:
Jsou scintilační detektory citlivější než polovodičové?
Jaké byly pracovní podmínky pro měření?
Z jakého důvodu byla použitá vodní pára jako pracovní prostředí?
Jaké biologické vzorky by byly vhodné pro vodné prostředí?
Proč vodní pára rozptyluje elektronový svazek méně než dusíková atmosféra?
Jaký byl vliv nastavení pracovních podmínek na poměr signál šum?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení