• čeština
    • English
    • русский
  • English 
    • čeština
    • English
    • русский
  • Login
View Item 
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • bakalářské práce
  • Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
  • 2014
  • View Item
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • bakalářské práce
  • Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
  • 2014
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop

Scintillation SE detector fo environmental scanning electron microscope

Thumbnail
View/Open
final-thesis.pdf (2.234Mb)
review_74377.html (4.160Kb)
Author
Odehnal, Adam
Advisor
Jirák, Josef
Referee
Čudek, Pavel
Grade
B
Altmetrics
Metadata
Show full item record
Abstract
Práce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena nejrozšířenější metoda detekce sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Další kapitoly se věnují jednomu z posledních vývojových stádií rastrovací elektronové mikroskopie, a to environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Praktická část se zabývá vyhodnocováním závislostí velikosti signálu detekovaného scintilačním detektorem na tlaku vodních par v komoře vzorku. Je zde posuzována vhodná velikost napětí přiložených na elektrody scintilačního detektoru pro optimalizování detekce.
 
This work contains theory about scanning electron microscopy. It describes construction, principle of operation and sinals generated by interactions between primary electron beam and specimen. Furthermore, it describes the most common method for detection of secondary electrons using scintillation detector. Next chapters are dealing with last development stage of scanning electron microscopy, which is environmental scanning electron microscopy. Experimental part is evaluating dependency of size of detected signal with scintillation detector on pressure of water vapor in specimen chamber. It also considers appropriate size of voltages enclosed on electrodes of the scintillation detector to optimize detection.
 
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop (REM), primární elektrony (PE), sekundární elektrony (SE), zpětně odražené elektrony (BSE), scintilační detektor (SD), environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM)., Scanning electron microscope (SEM), primary electrons (PE), secondary electron (SE), backscattered electrons (BSE), scintillation detector (SD), environmental scanning electron microscope (ESEM).
Language
čeština (Czech)
Study brunch
Mikroelektronika a technologie
Composition of Committee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda) Ing. Pavel Prosr, Ph.D. (místopředseda) doc. RNDr. Andrea Straková Fedorková, Ph.D. (člen) Ing. Ondřej Čech, Ph.D. (člen) Ing. Martin Adámek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (člen)
Date of defence
2014-06-16
Process of defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky v diskuzi: Na jakém principu pracuje scintilační detektor? Z jakého materiálu je vyroben scintilační detektor?
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájena
Persistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/34156
Source
ODEHNAL, A. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Collections
  • 2014 [525]
Citace PRO

Related items

Showing items related by title, author, creator and subject.

  • Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM 

    Čudek, Pavel
    Práce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v ...
  • Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku 

    Kozelský, Adam
    Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu ...
  • Elektronická identifikace a služby vytvářející důvěru pro elektronické transakce 

    Hrbotický, Lukáš
    Tato bakalářská práce se zabývá problematikou elektronické identifikace a služeb vytvářejících důvěru pro elektronické transakce. Práce popisuje a vysvětluje pojmy, které se využívají v oblasti elektronické komunikace a ...

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV
 

 

Browse

All of repositoryCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV