Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Scintillation SE detector fo environmental scanning electron microscope
Abstract
Práce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena nejrozšířenější metoda detekce sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Další kapitoly se věnují jednomu z posledních vývojových stádií rastrovací elektronové mikroskopie, a to environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Praktická část se zabývá vyhodnocováním závislostí velikosti signálu detekovaného scintilačním detektorem na tlaku vodních par v komoře vzorku. Je zde posuzována vhodná velikost napětí přiložených na elektrody scintilačního detektoru pro optimalizování detekce. This work contains theory about scanning electron microscopy. It describes construction, principle of operation and sinals generated by interactions between primary electron beam and specimen. Furthermore, it describes the most common method for detection of secondary electrons using scintillation detector. Next chapters are dealing with last development stage of scanning electron microscopy, which is environmental scanning electron microscopy. Experimental part is evaluating dependency of size of detected signal with scintillation detector on pressure of water vapor in specimen chamber. It also considers appropriate size of voltages enclosed on electrodes of the scintillation detector to optimize detection.
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop (REM), primární elektrony (PE), sekundární elektrony (SE), zpětně odražené elektrony (BSE), scintilační detektor (SD), environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM)., Scanning electron microscope (SEM), primary electrons (PE), secondary electron (SE), backscattered electrons (BSE), scintillation detector (SD), environmental scanning electron microscope (ESEM).Language
čeština (Czech)Study brunch
Mikroelektronika a technologieComposition of Committee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda) Ing. Pavel Prosr, Ph.D. (místopředseda) doc. RNDr. Andrea Straková Fedorková, Ph.D. (člen) Ing. Ondřej Čech, Ph.D. (člen) Ing. Martin Adámek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (člen)Date of defence
2014-06-16Process of defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky v diskuzi: Na jakém principu pracuje scintilační detektor? Z jakého materiálu je vyroben scintilační detektor?Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaPersistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/34156Source
ODEHNAL, A. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.Collections
- 2014 [525]
Citace PRO
Related items
Showing items related by title, author, creator and subject.
-
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Čudek, PavelPráce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v ... -
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Kozelský, AdamTato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu ... -
Elektronická identifikace a služby vytvářející důvěru pro elektronické transakce
Hrbotický, LukášTato bakalářská práce se zabývá problematikou elektronické identifikace a služeb vytvářejících důvěru pro elektronické transakce. Práce popisuje a vysvětluje pojmy, které se využívají v oblasti elektronické komunikace a ...