Now showing items 1-1 of 1

  • Elektrostatické vychylovací a korekční systémy 

    Badin, Viktor
    Tato diplomová práce se věnuje prozkoumání možností dynamické korekce vad v elektronové litografii. Pro výpočty byl zvolen elektronový litograf BS600. Práce se zabývá korekcí vad vychýlení třetího řádu: zklenutí pole, ...