Now showing items 1-2 of 2

  • Elektrostatické vychylovací a korekční systémy 

    Badin, Viktor
    Tato diplomová práce se věnuje prozkoumání možností dynamické korekce vad v elektronové litografii. Pro výpočty byl zvolen elektronový litograf BS600. Práce se zabývá korekcí vad vychýlení třetího řádu: zklenutí pole, ...
  • Studium elektronově optických systémů s porušenou rotační symetrií 

    Horák, Michal
    Tato práce se zabývá výpočty magnetické čočky, jejíž pólový nástavec má kvůli nepřesnostem ve výrobě porušenou rotační symetrii. Jsou diskutovány dva možné způsoby výpočtů - užití poruchové teorie a 3D výpočty. Jsou ...