Now showing items 1-1 of 1

  • Selektivní růst GaN nanostruktur na křemíkových substrátech 

    Knotek, Miroslav
    Tato práce se zabývá depozicí tenkých vrstev nitridu gallia na křemíkové substráty pokryté maskami z negativního rezistu HSQ. Rezist byl strukturován elektronovou litografií za účelem vytvoření masek, ve kterých bylo ...