Studium elektronově optických systémů s porušenou rotační symetrií
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato práce se zabývá výpočty magnetické čočky, jejíž pólový nástavec má kvůli nepřesnostem ve výrobě porušenou rotační symetrii. Jsou diskutovány dva možné způsoby výpočtů - užití poruchové teorie a 3D výpočty. Jsou představeny tři metody pro určení osových multipólových funkcí ze 3D polí. Jsou vypočítány stopy svazku v obrazové rovině a aberační koeficienty a výsledky získané použitím poruchové teorie jsou porovnány s výsledky vypočítanými s využitím 3D simulací. Na základě těchto výsledků je diskutována vhodnost použití poruchové teorie.
This thesis deals with computing of the magnetic lens with a perturbed pole piece due to manufacturing imperfections. Two possible ways of calculation are discussed - the perturbation theory and 3D computing. Three methods for evaluating axial multipole field functions from 3D fields are introduced. Beam spots in the image plane and aberration coefficients are computed and results obtained by the application of perturbation theory are compared to results evaluated from 3D simulations. Consequently, a suitability of using the perturbation theory is discussed.
This thesis deals with computing of the magnetic lens with a perturbed pole piece due to manufacturing imperfections. Two possible ways of calculation are discussed - the perturbation theory and 3D computing. Three methods for evaluating axial multipole field functions from 3D fields are introduced. Beam spots in the image plane and aberration coefficients are computed and results obtained by the application of perturbation theory are compared to results evaluated from 3D simulations. Consequently, a suitability of using the perturbation theory is discussed.
Description
Citation
HORÁK, M. Studium elektronově optických systémů s porušenou rotační symetrií [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2015-06-22
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení