Polovodičové senzory plynů pro detekci organických plynů a par
Semiconductive gas sensors for detection of organic gases and vapours
Author
Advisor
Gablech, ImrichReferee
Gablech, EvelínaGrade
AAltmetrics
Metadata
Show full item recordAbstract
V tejto bakalárskej práci sú rozobrané základné vlastnosti senzorov. Ďalej obsahuje prehľad v súčasnosti najčastejšie používaných typov senzorov plynov, ktoré sú rozdelené podľa ich fyzikálneho princípu. Jadrom práce je experimentálna časť, v ktorej je popísaný postup výroby senzorov s aktívnymi vrstvami oxidu zinočnatého, oxidu ciničitého, oxidu volfrámového, a oxidu titaničitého. Ich citlivostné charakteristiky boli zmerané pre metán, izobután a amoniak. Taktiež boli zmerané charakteristiky komerčného senzoru TGS 822 od firmy Figaro. Boli porovnané vlastnosti senzoru TGS 822 s vyrobenými senzormi. V závere sú zhrnuté možnosti realizácie polovodičového senzoru s rôznymi aktívnymi vrstvami, určeného k selektívnej detekcií organických plynov. This bachelor thesis is focused on gas sensors. Basic characteristics of sensors are discussed in the first part. Next part contains an overview of the most used types of gas sensors based on different physical principles. The main aim of thesis outlines last chapter where process of making gas sensors with different semiconductive metal oxides active layers is described. This thesis also describes measuring of their characteristics and characteristics of commercial gas sensor TGS 822 made by Figaro. Measured data are processed in graphs and tables and then were used for comparison with created sensors. In conclusion, there are discussed possibilities of improving selectivity of gas detection by using sensors with different active layer.
Keywords
polovodičový senzor, detektor plynu, oxid ciničitý, oxid zinočnatý, oxid volfrámový, oxid titaničitý, chemisorpcia, izobutan, metán, amoniak, hrubá vrstva, charakteristika, semiconductor sensor, gas detector, tin dioxide, zinc oxide, tungsten trioxide, titanium dioxide, chemisorption, isobutane, methane, ammonia, thick film, characterizationLanguage
slovenština (Slovak)Study brunch
Mikroelektronika a technologieComposition of Committee
prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda) doc. Ing. Lukáš Fujcik, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. Jan Maschke, CSc. (člen) doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Špinka (člen)Date of defence
2015-06-16Process of defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cílem a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Dále student zodpověděl doplňující otázky: 1) Jak rychlá je odezva senzoru? 2) Jak dlouho senzor regeneruje? 3) Je možné určit koncentraci plynu přesně?Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaPersistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/41618Source
ŠEDIVÝ, M. Polovodičové senzory plynů pro detekci organických plynů a par [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2015.Collections
- 2015 [436]