Analýza tvaru sacích kanálů současné koncepce diferenciálně čerpané komory

Abstract

Diplomová práce se zabývá analýzou tvaru sacích kanálů diferenciálně čerpané komory u současné koncepce. První část této práce nás uvádí do problematiky mikroskopie, následně se zaměřuje na mikroskopy typu ESEM a zahrnuje také popis dynamiky proudění a popis matematický. V dalších kapitolách je popsaný software SolidWorks, v němž je vytvořen model kanálu diferenciálně čerpané komory a program Ansys Fluent sloužící k analýzám. V Druhé části práce jsou popsány navrhované koncepty a výsledky jejich simulací. Závěrem práce jsou tyto výsledky analyzovány a vyhodnoceny.

This master´s thesis discusses the analysis of the shape of the intake ports of differentially pumped chamber for the current concept. The first part is an introduction to the microscopy issue, then it is focused on ESEM microscopes and it also includes a describtion of the Flow dynamics and a mathematical describtion. In the following chapters the software Solid Works, where the model of differentially pumped chamber is created, and the software Ansys Fluent, which is used for analysis, are described. The second part concerns the proposed concepts and the results of their simulations. At the end of the work the results are analyzed and evaluated.