Nízkoenergiový rozptyl iontů inertních plynů na zlatých strukturách

Abstract

Tato diplomová práce se zabývá srovnáním experimentálních a simulovaných výsledků nízkoenergiového rozptylu iontů. Teoreticky popisuje principy nízkoenergiového rozptylu iontů a spektrometr na Ústavu fyzikálního inženýrství. Uvádí postup přípravy vzorků s použitím roztoku koloidního zlata. Charakterizuje depozici zlatých nanočástic. Objasňuje význam a použití časových a energiových spekter nízkoenergiového rozptylu. Zmiňuje také jev kanálování v křemíkovém substrátu.

This diploma thesis deals with comparison of experimental and simulated low energy ion scattering spectra. There is a theoretical description of basic principles of low energy ion scattering and description of the spectrometer, which is situated at Institute of physical engineering. It is shown, how to prepare samples using the colloidal gold solution. The deposition of gold nanoparticles is characterized. The usage and meaning of time and energy spectra of low energy ion scattering is explained. There is also shown the effect of channeling in Si substrate.