Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Scintillation Secondary Electrons Detector for ESEM

Author
Advisor
Jirák, JosefReferee
Kadlec, JaromírRek, Antonín
Grade
PAltmetrics
Metadata
Show full item recordAbstract
Práce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v elektrodovém systému detektoru, pohybu elektronů v těchto polích a simulace rozložení tlaků a proudění plynů v jednotlivých částech detektoru. Na základě provedených simulací byly postupně realizovány konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost jednotlivých verzí detektoru byla určena v práci popsanou metodou vyhodnocování velikosti signálu z pořízených snímků, kvalita snímků byla stanovena z poměru signálu k šumu. V práci je popsán celý postup při úpravách detektoru, od počátečního stavu, kdy detektor pracoval v rozsahu tlaku 300 – 900 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu s nižší účinností, až po finální verzi detektoru umožňující jeho použití v rozmezí tlaků menších než 10-1 Pa do 1000 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu. The thesis deals with the scintillation secondary electron detector for environmental scanning electron microscope, its design and construction. The starting point was numerical simulation of electrostatic fields and electron trajectories in the electrode system of the detector and simulation of pressure distribution and flow of gases in different parts of the detector. On the basis of modeling and simulation, construction changes of the detector were gradually implemented. Detection efficiency of each version of the detector was determined by the method described in the work. This method enables to evaluate signal level from the captured images of the specimen, quality of images was stated from signal to noise ratio. The thesis describes the whole process of the detector improvement from initial state, when the detector operated with lower efficiency in the pressure range from 300 to 900 Pa, to final version that enables usage of the detector in the range from vacuum up to 1000 Pa of water vapors in the specimen chamber of the microscope.
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop, environmentální rastrovací elektronový mikroskop, scintilační detektor sekundárních elektronů, primární elektrony, sekundární elektrony, zpětně odražené elektrony, detekce sekundárních elektronů, úroveň detekovaného signálu, poměr signál – šum., Scanning electron microscope, environmental scanning electron microscope, scintillation secondary electron detector, primary electrons, secondary electrons, backscattered electrons, detection of secondary electrons, detected signal level, signal noise ratio.Language
čeština (Czech)Study brunch
Mikroelektronika a technologieComposition of Committee
prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda) doc. Ing. et Ing. Vilém Neděla, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (člen) doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Vanýsek, CSc. (člen) prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. - oponent (člen) doc. Ing. Antonín Rek, CSc. - oponent (člen) doc. RNDr. Marie Studničková, CSc. (člen) doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (člen) Ing. Bohuslav Res, CSc. (člen) prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (člen)Date of defence
2016-05-24Process of defence
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaPersistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/51956Source
ČUDEK, P. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016.Collections
- 2016 [29]
Citace PRO
Related items
Showing items related by title, author, creator and subject.
-
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Kozelský, AdamTato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu ... -
Elektronická identifikace a služby vytvářející důvěru pro elektronické transakce
Hrbotický, LukášTato bakalářská práce se zabývá problematikou elektronické identifikace a služeb vytvářejících důvěru pro elektronické transakce. Práce popisuje a vysvětluje pojmy, které se využívají v oblasti elektronické komunikace a ... -
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Odehnal, AdamPráce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena ...