• čeština
    • English
    • русский
    • Deutsch
    • français
    • polski
    • українська
  • English 
    • čeština
    • English
    • русский
    • Deutsch
    • français
    • polski
    • українська
  • Login
View Item 
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • dizertační práce
  • Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
  • 2016
  • View Item
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • dizertační práce
  • Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
  • 2016
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM

Scintillation Secondary Electrons Detector for ESEM

Thumbnail
View/Open
review_87395.html (1.755Kb)
final-thesis.pdf (17.37Mb)
thesis-1.pdf (4.597Mb)
Posudek-Vedouci prace-CUDEKposudek skolitele disertace.pdf (182.8Kb)
Posudek-Oponent prace-Kadlec_Oponentsky posudek_Cudek.pdf (157.8Kb)
Posudek-Oponent prace-Rek_posudek na DP Cudka.pdf (273.9Kb)
Author
Čudek, Pavel
Advisor
Jirák, Josef
Referee
Kadlec, Jaromír
Rek, Antonín
Grade
P
Altmetrics
Metadata
Show full item record
Abstract
Práce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v elektrodovém systému detektoru, pohybu elektronů v těchto polích a simulace rozložení tlaků a proudění plynů v jednotlivých částech detektoru. Na základě provedených simulací byly postupně realizovány konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost jednotlivých verzí detektoru byla určena v práci popsanou metodou vyhodnocování velikosti signálu z pořízených snímků, kvalita snímků byla stanovena z poměru signálu k šumu. V práci je popsán celý postup při úpravách detektoru, od počátečního stavu, kdy detektor pracoval v rozsahu tlaku 300 – 900 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu s nižší účinností, až po finální verzi detektoru umožňující jeho použití v rozmezí tlaků menších než 10-1 Pa do 1000 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu.
 
The thesis deals with the scintillation secondary electron detector for environmental scanning electron microscope, its design and construction. The starting point was numerical simulation of electrostatic fields and electron trajectories in the electrode system of the detector and simulation of pressure distribution and flow of gases in different parts of the detector. On the basis of modeling and simulation, construction changes of the detector were gradually implemented. Detection efficiency of each version of the detector was determined by the method described in the work. This method enables to evaluate signal level from the captured images of the specimen, quality of images was stated from signal to noise ratio. The thesis describes the whole process of the detector improvement from initial state, when the detector operated with lower efficiency in the pressure range from 300 to 900 Pa, to final version that enables usage of the detector in the range from vacuum up to 1000 Pa of water vapors in the specimen chamber of the microscope.
 
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop, environmentální rastrovací elektronový mikroskop, scintilační detektor sekundárních elektronů, primární elektrony, sekundární elektrony, zpětně odražené elektrony, detekce sekundárních elektronů, úroveň detekovaného signálu, poměr signál – šum., Scanning electron microscope, environmental scanning electron microscope, scintillation secondary electron detector, primary electrons, secondary electrons, backscattered electrons, detection of secondary electrons, detected signal level, signal noise ratio.
Language
čeština (Czech)
Study brunch
Mikroelektronika a technologie
Composition of Committee
prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda) doc. Ing. et Ing. Vilém Neděla, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (člen) doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Vanýsek, CSc. (člen) prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. - oponent (člen) doc. Ing. Antonín Rek, CSc. - oponent (člen) doc. RNDr. Marie Studničková, CSc. (člen) doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (člen) Ing. Bohuslav Res, CSc. (člen) prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (člen)
Date of defence
2016-05-24
Process of defence
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájena
Persistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/51956
Source
ČUDEK, P. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016.
Collections
  • 2016 [29]
Citace PRO

Related items

Showing items related by title, author, creator and subject.

  • Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku 

    Kozelský, Adam
    Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu ...
  • Elektronická identifikace a služby vytvářející důvěru pro elektronické transakce 

    Hrbotický, Lukáš
    Tato bakalářská práce se zabývá problematikou elektronické identifikace a služeb vytvářejících důvěru pro elektronické transakce. Práce popisuje a vysvětluje pojmy, které se využívají v oblasti elektronické komunikace a ...
  • Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop 

    Odehnal, Adam
    Práce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena ...

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV
 

 

Browse

All of repositoryCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV