Analýza grafenových vrstev připravených metodou CVD pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato bakalářská práce je zaměřena na analýzu vzorků grafenu rozptylem nízkoenergiových iontů (LEIS). Výroba grafenových vrstev byla prováděna metodou chemické depozice z plynné fáze (CVD) na Ústavu fyzikálního inženýrství. Analýza vzorků probíhala ve Středoevropském technologickém institutu (CEITEC) na přístroji Qtac 100. Cílem této bakalářské práce byla optimalizace technologie výroby za účelem snížení kontaminací obsažených v grafenové vrstvě.
This bachelor thesis is focused on the analysis of graphene samples by the Low Energy Ion Scattering (LEIS). The production of graphene layers is realized by the Chemical Vapor Deposition method (CVD) on the Institute of Physical Engineering. Analysis of the samples is taken place in the Central European Institute of Technology (CEITEC) by Qtac 100. The aim of this bachelor thesis is to optimize of technology in order to reduce contaminants in the graphene layer.
This bachelor thesis is focused on the analysis of graphene samples by the Low Energy Ion Scattering (LEIS). The production of graphene layers is realized by the Chemical Vapor Deposition method (CVD) on the Institute of Physical Engineering. Analysis of the samples is taken place in the Central European Institute of Technology (CEITEC) by Qtac 100. The aim of this bachelor thesis is to optimize of technology in order to reduce contaminants in the graphene layer.
Description
Citation
BÁBÍK, P. Analýza grafenových vrstev připravených metodou CVD pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2016.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2016-06-23
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení