Show simple item record

Reconstruction of ion gun and its application for deposition of thin films and nanostructures

dc.contributor.advisorVoborný, Stanislavcs
dc.contributor.authorNovák, Tomášcs
dc.date.accessioned2019-05-17T12:19:00Z
dc.date.available2019-05-17T12:19:00Z
dc.date.created2011cs
dc.identifier.citationNOVÁK, T. Rekonstrukce iontového děla a jeho aplikace pro tvorbu tenkých vrstev a nanostruktur [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2011.cs
dc.identifier.other38573cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/607
dc.description.abstractBakalářská práce se zabývá úpravou a experimentálním využitím iontového zařízení, které vytváří a transportuje svazek iontů dusíku o energiích desítek až stovek eV. V kombinaci s galliovou efúzní celou toto zařízení slouží k depozici tenkých vrstev nitridu gallitého (GaN). Zkrácením jeho iontově-optické části byl výrazně zvýšen proud dusíkového iontového svazku. Zachování ultravakuových podmínek v depoziční komoře je zajištěno diferenciálním čerpáním systému. Optimalizací provozních parametrů upraveného iontového děla byly nalezeny profily proudové hustoty iontového svazku vhodné k experimentům s depozicí GaN. Depoziční rychlost systému se díky zesílení iontového svazku zvýšila z desetin nm/h na více než 10 nm/h. Jako substrát pro depozici slouží k experimentům popsaným v této práci monokrystalický křemík (111). Při depozicích GaN byl sledován vliv množství dopadajícího gallia a iontů dusíku na růst vrstev. Dále byl zkoumán vliv zlatých nanočástic nanesených na substrát na růst GaN vrstvy. Vzorky byly analyzovány elektronovým mikroskopem a mikroskopem atomárních sil. Bylo pozorováno několik specifických morfologií deponovaných vrstev.cs
dc.description.abstractThis bachelor´s thesis deals with modification and experimental application of the ion device, generating and transporting nitrogen ion beam with energy in a range of 10-100 eV. Together with gallium effusion cell, this device can be used for deposition of gallium nitride (GaN) thin films. Nitrogen ion beam current significantly increased by shortening the optical part of the ion gun. A differential pumping provides the system with ultrahigh-vacuum conditions in the deposition chamber. Profiles of ion current density, appropriate for GaN depositions, were found by the optimization of potentials applied on electrodes of the ion gun. Due to increase of nitrogen-ion current, the depositon rate of the system raised from about tenth of nm/h to more than 10 nm/h. For experiments described in this paper, monocrystalline silicon (111) was used as a substrate. The effect of gallium and nitrogen ion fluxes on GaN growth was investigated, together with the effect of gold nanoparticles on a GaN growth. Thin films were analyzed by scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM). Several specific morphologies of thin films were observed.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectNitrid gallitýcs
dc.subjectdepozice iontovými svazkycs
dc.subjectionty s nízkou energiícs
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectzlaté nanočástice.cs
dc.subjectGallium nitrideen
dc.subjection beam depositionen
dc.subjectlow energy ionsen
dc.subjectthin filmsen
dc.subjectgold nanoparticles.en
dc.titleRekonstrukce iontového děla a jeho aplikace pro tvorbu tenkých vrstev a nanostrukturcs
dc.title.alternativeReconstruction of ion gun and its application for deposition of thin films and nanostructuresen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2011-06-21cs
dcterms.modified2011-07-16-10:45:14cs
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
sync.item.dbid38573en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2019.06.21 05:41:38en
sync.item.modts2019.05.19 00:25:20en
dc.contributor.refereeMach, Jindřichcs
dc.description.markAcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record