• čeština
    • English
    • русский
    • Deutsch
    • français
    • polski
    • українська
  • English 
    • čeština
    • English
    • русский
    • Deutsch
    • français
    • polski
    • українська
  • Login
View Item 
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • diplomové práce
  • Fakulta strojního inženýrství
  • 2016
  • View Item
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • diplomové práce
  • Fakulta strojního inženýrství
  • 2016
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Návrh a sestavení laboratorního vzoru laserového deflektometru pro měření mechanického napětí v tenkých vrstvách

Design and set up of a laboratory sample of a laser deflectometer for measurement of mechanical stress within thin films

Thumbnail
View/Open
appendix-1.rar (3.115Mb)
final-thesis.pdf (3.417Mb)
review_93089.html (8.519Kb)
Author
Šustek, Štěpán
Advisor
Ohlídal, Miloslav
Referee
Klapetek,, Petr
Grade
A
Altmetrics
Metadata
Show full item record
Abstract
Předkládaná diplomová práce se zabývá návrhem laboratorní verze přístroje pro měření mechanického napětí v tenkých vrstvách - laserového deflektometru, jeho konstrukčním řešením a ověřením funkčnosti. Vlastní text práce je členěn do pěti kapitol. První z nich se zabývá rozborem mechanického napětí a jeho vlivem na systém podložka - tenká vrstva. Druhá kapitola popisuje různé typy přístrojů běžně používané pro měření mechanického napětí v tenkých vrstvách, shrnuje jejich výhody a nevýhody. Ve třetí kapitole je prezentováno několik možných variant zmíněné přístroje, z nichž byla jedna vybrána pro realizaci. Čtvrtá kapitola se zaměřuje na konstrukční řešení přístroje, v páté kapitole jsou uvedeny výsledky experimentálního měření provedeného na přístroji pro ověření jeho funkčnosti.
 
This diploma thesis describes the design of a device for measuring stress in thin films – laser deflectometer, realization of its design and its experimental testing. The thesis is divided into five chapters. The first chapter deals with the stress in thin films and its influence on substrate – thin film system. The second chapter provides an overview of devices widely used for measuring stress in thin films and describes some their advantages and disadvantages. In the third chapter some design possibilities of the device are presented. The final solution of device called deflectometr is introduced in the fourth chapter. The last chapter includes the functional testing the device.
 
Keywords
Mechanické napětí, tenké vrstvy, deformace podložky, deflektometr., Mechanical stress, thin films, deformation if a substrate, deflectometr.
Language
čeština (Czech)
Study brunch
Přesná mechanika a optika
Composition of Committee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)
Date of defence
2016-06-21
Process of defence
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájena
Persistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/60800
Source
ŠUSTEK, Š. Návrh a sestavení laboratorního vzoru laserového deflektometru pro měření mechanického napětí v tenkých vrstvách [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2016.
Collections
  • 2016 [439]
Citace PRO

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV
 

 

Browse

All of repositoryCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV