Snímač tlaku vytvořený strukturou 3D
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato práce se zabývá problematikou snímače tlaku vytvořeného pomocí struktury 3D. Snímač tlaku převádí tlak na lépe měřitelnou veličinu, která se dále zpracovává. Snímání tlaku se provádí nejčastěji kapacitně, tenzometricky a opticky. Struktury 3D lze konstruovat za pomoci technologie LTCC, kterou lze oproti standardní korundové keramice laminovat do vícevrstvých struktur. Pasivní obvodové součástky lze na jednotlivé vrstvy keramiky nanášet pomocí tenkovrstvé nebo tlustovrstvé technologie. Praktická část práce se zabývá několika způsoby konstrukce tlakového snímače. Jedná se především o kapacitní tenzometrický a optický senzor a případné problémy s výrobou jednotlivých senzorů především problémy s laminací, dutinami nebo výpalem.
This thesis deals with the points at issue of a 3D structure pressure sensor. The pressure sensor converts pressure into another physical quantity which is easier measure and which is processed subsequently. Usually ways of pressure sensing is for example capacitive, strain-gauge and optical. The 3D structures are constructed through the use of a LTCC technology, which can be laminated to create multi-layer structures, compared to standard high-temperature ceramics. Passive circuit components can be applied onto particular ceramic layers using either thin-layer or thick-layer technology. Practice part of thesis deals with several ways of construction a pressure sensor. First of all capacitive, strain-gauge and optical sensor and possible problems with construction individual sensors above all problems with lamination, cavity or burning
This thesis deals with the points at issue of a 3D structure pressure sensor. The pressure sensor converts pressure into another physical quantity which is easier measure and which is processed subsequently. Usually ways of pressure sensing is for example capacitive, strain-gauge and optical. The 3D structures are constructed through the use of a LTCC technology, which can be laminated to create multi-layer structures, compared to standard high-temperature ceramics. Passive circuit components can be applied onto particular ceramic layers using either thin-layer or thick-layer technology. Practice part of thesis deals with several ways of construction a pressure sensor. First of all capacitive, strain-gauge and optical sensor and possible problems with construction individual sensors above all problems with lamination, cavity or burning
Description
Citation
HANUS, M. Snímač tlaku vytvořený strukturou 3D [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
doc. Ing. František Vaníček, CSc. (předseda)
doc. Ing. Lukáš Fujcik, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Jiří Kubelka (člen)
doc. Ing. Jiří Háze, Ph.D. (člen)
Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2009-06-11
Defence
Bakalář seznámil zkušební komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky komise.
Otázky u obhajoby:
1.) Jaká je opakovatelnost výroby a jaká je opakovatelnost naměřených výsledků?
2.) Jaký doporučujete další postup vývoje nového snímače tlaku vytvořeného 3D strukturou?
3.) Jaký význam má veličina D (práce neobsahuje seznam zkratek)?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení