Ionizační detektor pro EREM

Černoch, David

Ionization Detector for Variable Pressure SEM

Grade

Altmetrics

Metadata

Zur Langanzeige

Zusammenfassung

Diplomová práce se zabývá vlivem vkládané mřížky mezi vzorek a ionizační detektor v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Při změnách tlaku, napětí na mřížce při různých vzdálenostech vzorek detektor a vzorek mřížka je měřena velikost relativní úrovně signálu. Vliv přídavné mřížky na detekovaný signál je simulován programem pro realné podmínky používaného ionizačního detektoru.

This graduation theises deal with influence of an additional grating possitioned berween the sample and the ionisation detektor of the environmental scannin elektron microscope on signal detection. Signal level is measured for changing pressure, at different voltages on the aditional grating, at different sample - additional electrode distance and at different sample - detektor distance. Influence of the additional grating is simulated for real working conditions on PC.

Keywords

Rastrovací elektronový mikroskop (REM), environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), sekundární elektrony (SE), ionizační detektor (ID), Scanning electron microscope (SEM), environmental scanning electron microscope (environmental SEM), secondary electrons (SE), Ionization detektor ( ID )

Language

čeština (Czech)

Study brunch

Mikroelektronika

Composition of Committee

prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda) doc. Ing. Ivan Szendiuch, CSc. (místopředseda) Ing. Karel Pospíšil (člen) doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen)

Date of defence

2009-06-08

Process of defence

Otázky oponenta 1) Jakou konfiguraci doporučíte pro získání optimálního obrazu ionizačním detektorem s vodivou mřížkou vloženou mezi vzorkem detektorem. 2) Odhadněte, s jakou přesností byly získány výsledky uvedené na Obr. 37. Otázky komise - Otázky vztahující se k citacím a použité literatuře.

Result of the defence

práce byla úspěšně obhájena

URI

http://hdl.handle.net/11012/7405

Source

ČERNOCH, D. Ionizační detektor pro EREM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.

Collections

2009 [486]