Ionizační detektor pro EREM

Ionization Detector for Variable Pressure SEM

Thumbnail
Переглянути
Автор
Advisor
Jirák, Josef
Referee
Špinka, Jiří
Grade
C
Altmetrics
Metadata
Показати повний опис матеріалу
Короткий опис(реферат)
Diplomová práce se zabývá vlivem vkládané mřížky mezi vzorek a ionizační detektor v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Při změnách tlaku, napětí na mřížce při různých vzdálenostech vzorek detektor a vzorek mřížka je měřena velikost relativní úrovně signálu. Vliv přídavné mřížky na detekovaný signál je simulován programem pro realné podmínky používaného ionizačního detektoru.
 
This graduation theises deal with influence of an additional grating possitioned berween the sample and the ionisation detektor of the environmental scannin elektron microscope on signal detection. Signal level is measured for changing pressure, at different voltages on the aditional grating, at different sample - additional electrode distance and at different sample - detektor distance. Influence of the additional grating is simulated for real working conditions on PC.
 
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop (REM), environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), sekundární elektrony (SE), ionizační detektor (ID), Scanning electron microscope (SEM), environmental scanning electron microscope (environmental SEM), secondary electrons (SE), Ionization detektor ( ID )
Language
čeština (Czech)
Study brunch
Mikroelektronika
Composition of Committee
prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda) doc. Ing. Ivan Szendiuch, CSc. (místopředseda) Ing. Karel Pospíšil (člen) doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen)
Date of defence
2009-06-08
Process of defence
Otázky oponenta 1) Jakou konfiguraci doporučíte pro získání optimálního obrazu ionizačním detektorem s vodivou mřížkou vloženou mezi vzorkem detektorem. 2) Odhadněte, s jakou přesností byly získány výsledky uvedené na Obr. 37. Otázky komise - Otázky vztahující se k citacím a použité literatuře.
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájena
URI
http://hdl.handle.net/11012/7405
Source
ČERNOCH, D. Ionizační detektor pro EREM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Collections
Citace PRO