Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity

MEMS pressure sensor utilizing nanocomposites

Thumbnail
View/Open
Author
Advisor
Ficek, Richard
Referee
Musil, Vladislav
Grade
B
Altmetrics
Metadata
Show full item record
Abstract
Cílem této práce je seznámit čtenáře se základními technologickými operacemi výroby MEMS (Mikro-elektro-mechanických systémů). Dále jsou v této práci zmíněny vlastnosti a výroba CNTs (uhlíkových nanotrubic), které jsou použity pro výrobu kapacitního tlakového senzoru.
 
The main goal of this work is to introduce with the basic technologies of manufacturing MEMS (Micro-electro-mechanical-systems). Further there is mentioned properties and manufacturing of CNT (Carbon nanotubes), used in manufacturing of capacitance pressure sensor.
 
Keywords
Mikro-elektro-mechanické systémy, litografie, leptání, depozice, uhlíkové nanotrubice, depozice z plynné fáze, depozice z pevné fáze, skenovací elektronový mikroskop., Micro – electro – mechanical - sytems, litography, etching, deposition, carbon nanotubes, plasma enhanced chemical vapour deposition, physical vapour deposition scanning electron microscopy.
Language
čeština (Czech)
Study brunch
Mikroelektronika
Composition of Committee
doc. Ing. František Urban, CSc. (předseda) Ing. Roman Prokop, Ph.D. (místopředseda) Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen) doc. Ing. Jiří Háze, Ph.D. (člen) Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Date of defence
2008-06-09
Process of defence
Student seznámil komisi s obsahem své diplomové práce. Odpověděl na otázky oponenta a čelnů komise.
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájena
Persistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/770
Source
ŠEDA, M. Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.
Collections
Citace PRO