Show simple item record

MEMS pressure sensor utilizing nanocomposites

dc.contributor.advisorFicek, Richardcs
dc.contributor.authorŠeda, Miroslavcs
dc.date.accessioned2019-11-27T20:17:14Z
dc.date.available2019-11-27T20:17:14Z
dc.date.created2008cs
dc.identifier.citationŠEDA, M. Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.cs
dc.identifier.other10833cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/770
dc.description.abstractCílem této práce je seznámit čtenáře se základními technologickými operacemi výroby MEMS (Mikro-elektro-mechanických systémů). Dále jsou v této práci zmíněny vlastnosti a výroba CNTs (uhlíkových nanotrubic), které jsou použity pro výrobu kapacitního tlakového senzoru.cs
dc.description.abstractThe main goal of this work is to introduce with the basic technologies of manufacturing MEMS (Micro-electro-mechanical-systems). Further there is mentioned properties and manufacturing of CNT (Carbon nanotubes), used in manufacturing of capacitance pressure sensor.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectMikro-elektro-mechanické systémycs
dc.subjectlitografiecs
dc.subjectleptánícs
dc.subjectdepozicecs
dc.subjectuhlíkové nanotrubicecs
dc.subjectdepozice z plynné fázecs
dc.subjectdepozice z pevné fázecs
dc.subjectskenovací elektronový mikroskop.cs
dc.subjectMicro – electro – mechanical - sytemsen
dc.subjectlitographyen
dc.subjectetchingen
dc.subjectdepositionen
dc.subjectcarbon nanotubesen
dc.subjectplasma enhanced chemical vapour depositionen
dc.subjectphysical vapour deposition scanning electron microscopy.en
dc.titleTlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozitycs
dc.title.alternativeMEMS pressure sensor utilizing nanocompositesen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2008-06-09cs
dcterms.modified2008-06-09-10:51:52cs
thesis.disciplineMikroelektronikacs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektronikycs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
sync.item.dbid10833en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2020.05.22 13:07:30en
sync.item.modts2020.05.22 11:58:10en
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.contributor.refereeMusil, Vladislavcs
dc.description.markBcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
but.committeedoc. Ing. František Urban, CSc. (předseda) Ing. Roman Prokop, Ph.D. (místopředseda) Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen) doc. Ing. Jiří Háze, Ph.D. (člen) Ing. Miroslav Zatloukal (člen)cs
but.defenceStudent seznámil komisi s obsahem své diplomové práce. Odpověděl na otázky oponenta a čelnů komise.cs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.jazykčeština (Czech)


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record