Scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP SEM

Abstract

V první části této práce je uvedeno teoretické seznámení se základy rastrovací elektronové mikroskopie, pracující v oblastí vyšších tlaků, neboli VP SEM, včetně detekce sekundárních elektronů (SE) s využitím scintilačního detektoru. Praktická část je zaměřena na predikci, proměření a následném stanovení optimálního nastavení pracovních podmínek ve vakuovém systému elektrod scintilačního detektoru (SD), s důrazem na konfigurační nastavení průměrů otvorů v clonkách C1 a C2. Druhým úkolem bylo ověřit vliv změny pracovní vzdálenosti mezi vzorkem a detektorem a následně doporučit optimální nastavení pro další práci.

First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of the variable pressure scanning electron microscope, includes detection of secondary electrons with a view to a scintillation detector. The first applied part of the thesis is focused on prediction, measuring and setting-up optional working parley in vacuum electrodes scintillation detector system, with a stress small diameter hole in screenings C1 and C2. Second applied part was verify a change of working distance between sample and detector in consequence to optional solution for another work.