Vliv tlaku v komoře vzorku na podmínky diferenciálního čerpání
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
V práci je nejdříve uvedena a popsána stručně problematika elektronové mikroskopie. Následně jsou v systému SolidWorks vymodelovány tři tvary komory diferenciálního čerpání, u kterých je pomocí systému SolidWorks Flow Simulation provedena analýza čerpání plynu při různých tlacích v komoře vzorku EREM. Výsledky analýzy jsou podrobeny zhodnocení vzhledem k požadavku, aby v dráze svazku primárních elektronů byl co nejnižší tlak z důvodu snížení pravděpodobnosti rozptylu svazku.
The paper primarily outlines fundamental issues of electron microscopy. The paper follows with analysing pumping of gas into EREM sample chambers at various pressure levels by using SolidWorks Flow Simulation in SolidWorks system. The results of analyses are assessed with respect to requirements so that the pressure in the track of primarily electrons is as low as possible with the view to reduce probability of its scattering.
The paper primarily outlines fundamental issues of electron microscopy. The paper follows with analysing pumping of gas into EREM sample chambers at various pressure levels by using SolidWorks Flow Simulation in SolidWorks system. The results of analyses are assessed with respect to requirements so that the pressure in the track of primarily electrons is as low as possible with the view to reduce probability of its scattering.
Description
Citation
PLACZEK, R. Vliv tlaku v komoře vzorku na podmínky diferenciálního čerpání [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2010.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (předseda)
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (místopředseda)
doc. Ing. František Bartes, CSc. (člen)
Ing. Jiří Špinka (člen)
doc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2010-06-10
Defence
Diplomant seznámil komisi s řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky vedoucího i oponenta.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení