Show simple item record

Temperature drift compensation for nanostructure analysis

dc.contributor.advisorBábor, Petrcs
dc.contributor.authorHakira, Stanlics
dc.date.accessioned2019-04-03T22:33:26Z
dc.date.available2019-04-03T22:33:26Z
dc.date.created2018cs
dc.identifier.citationHAKIRA, S. Kompenzace teplotního driftu při analýze nanostruktur [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2018.cs
dc.identifier.other109778cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/83753
dc.description.abstractVe spolupráci mezi firmou Tescan a Ústavem fyzikálního inženýrství fakulty Strojního inženýrství je vyvíjena ultravakuová aparatura pro experimenty v nanotechnologii. Komora je navržena na přípravu, modifikaci a analýzu nanostruktur. Pro komoru byl vyroben držák na vzorky umožňující zahřívání a chlazení vzorku. Na komoře je instalován skenovací elektronový mikroskop sloužící k analytickým a výrobním technikám. V průběhu zahřívaní při dochází k posunu obrazu vzorku vzhledem k tubusu SEMu, což zprůsobuje drift obrazu. Tato bakalářská práce navrhuje kompenzaci teplotního driftu pomocí algoritmu sledujicího polohu pužitím obrazové registrace založené na Fourierově transformaci. Byla navržena a implementována aplikace doplňující ovládací software SEMu, která byla prakticky otestována.cs
dc.description.abstractAn ultra high vacuum apparatus for nanostructure experiments is being developed by the Tescan company in cooperation with the Institute of Physical Engineering of the Faculty of Mechanical Engineering. The apparatus is designed for preparation, modification, and analysis of nano-scale structures. A sample holder which allows heating and cooling has been developed for the apparatus. A scanning electron microscope is attached to the chamber to provide analytical and manufacturing capabilities. During experiments with heating enabled, the sample moves relative to the SEM column, causing drift of the image. This bachelor thesis proposes a solution to the problem of temperature drift by the means of motion tracking based on image registration using Fourier transform. An application complementary to the SEM control software which implements the algorithm was designed and tested at the instrument.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectkompenzace posunucs
dc.subjectskenovací elektronový mikroskopcs
dc.subjectSEMcs
dc.subjectobrazová registracecs
dc.subjectfázová korelacecs
dc.subjectnanostrukturacs
dc.subjectdrift compensationen
dc.subjectscanning electron microscopeen
dc.subjectSEMen
dc.subjectimage registrationen
dc.subjectphase correlationen
dc.subjectnanostructureen
dc.titleKompenzace teplotního driftu při analýze nanostrukturcs
dc.title.alternativeTemperature drift compensation for nanostructure analysisen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2018-06-21cs
dcterms.modified2018-06-25-06:47:55cs
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
sync.item.dbid109778en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2019.06.21 05:54:46en
sync.item.modts2019.05.18 14:39:20en
dc.contributor.refereePáleníček, Michalcs
dc.description.markAcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record