Kovové nanostruktury s trojrozměrnou topografií pro plazmoniku
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Vďaka vysokej koncentrácii voľných elektrónov môže v kovových nanoštruktúrach dochádzať k plazmovej rezonancii. Podobu frekvenčnej závislosti plazmovej rezonancie nanoštruktúr možno meniť viacerými faktormi, čo rozširuje pole ich uplatnenia, dané ich schopnosťou fokusovať svetlo pod difrakčný limit. Predkladaná práca sa zaoberá výrobou zlatých nanoštruktúr pripravených pomocou elektrónovej litografie na kremíkovom substráte. Topografia substrátu je následne upravená technikou mokrého anizotropného leptania. Súčasťou práce je tiež stručný prehľad metód využívaných k výrobe nanoštruktúr s planárnou i trojrozmernou topografiou. Práca ďalej využitím infračervenej spektroskopie analyzuje vplyv veľkosti, tvaru a rozstupu nanoštruktúr ako aj topografie kremíkového substrátu na optickú odozvu pripravených nanoštruktúr. Výsledky predkladanej práce overujú známe trendy spektrálnej závislosti optických charakteristík na spomenutých parametroch v strednej oblasti infračerveného spektra.
Due to high concentration of free electrons, metallic nanostructures can support plasmonic resonances. The spectral shape of plasmonic resonances may be tuned by many factors and because of it, the field of their application, given by their capability of focusing light under the diffraction limit, broadens. This thesis deals with fabrication of gold nanostructures by electron beam litography on top of a silicon substrate. The topography of the substrate is subsequentially modified by wet anistropic etching. A part of this thesis also briefly reviews methods for fabrication of nanostructures with planar or three-dimensional topography. Using the infrared spectroscopy, this thesis further analyzes the effect of size, shape, spacing of the nanostructures, and also the substrate topography on the optical response of the fabricated nanostructures. The outcomes of this thesis verify previously described tendencies of spectral relations between optical properties and named parameters in the mid-infrared region.
Due to high concentration of free electrons, metallic nanostructures can support plasmonic resonances. The spectral shape of plasmonic resonances may be tuned by many factors and because of it, the field of their application, given by their capability of focusing light under the diffraction limit, broadens. This thesis deals with fabrication of gold nanostructures by electron beam litography on top of a silicon substrate. The topography of the substrate is subsequentially modified by wet anistropic etching. A part of this thesis also briefly reviews methods for fabrication of nanostructures with planar or three-dimensional topography. Using the infrared spectroscopy, this thesis further analyzes the effect of size, shape, spacing of the nanostructures, and also the substrate topography on the optical response of the fabricated nanostructures. The outcomes of this thesis verify previously described tendencies of spectral relations between optical properties and named parameters in the mid-infrared region.
Description
Citation
ROVENSKÁ, K. Kovové nanostruktury s trojrozměrnou topografií pro plazmoniku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2018.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2018-06-22
Defence
Byly zodpovězeny otázky oponenta.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení