Vyhodnocení vlivu tvaru otvorů clonek na výsledný tlak na dráze sekundárních elektronů v detektoru pomocí systému CAE
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Diplomová práce se zabývá problematikou elektronové mikroskopie. Zkoumaným zařízením je environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), konkrétně scintilační detektor tohoto mikroskopu. Je zde řešen vliv profilu otvorů v clonkách na výsledný tlak a proudění plynu na dráze sekundárních elektronů u detektoru. Úvodní část práce seznamuje s mikroskopií obecně, se zaměřením na elektronovou mikroskopií. Z elektronové mikroskopie pak především rastrovacím mikroskopem, protože zkoumání probíhá právě na environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Další část pojednává o obecných principech dynamiky plynů, tak i o metodě konečných objemů. O konkrétním použitém softwaru a nastavení jednotlivých parametrů pro výpočet pojednává další část. Na začátku výpočtu je použito pět základních profilů otvorů v clonkách pro tlak 1000 Pa v komoře vzorku. Pro modelování jednotlivých tvarů je použit 3D parametrický modelář SolidWorks. Analýza proudění sekundárních elektronů detektorem je provedena za pomoci modulu Cosmos FloWorks. Z naměřených modelů je vybrán nejvíce vyhovující typ clonek. Další část práce se zabývá proměřením vybraného typu clonek pro více tlaků v komoře vzorku a to pro tlak 200, 400, 600, 800 a 1000 Pa. Výstupem tohoto zkoumání jsou jak modely tlaku a rychlosti proudění uvnitř detektoru, tak graficky zpracované hodnoty při použití jednotlivých clonek resp. jednoho druhu clonky při různých tlacích. Výrobní výkresy jednotlivých clonek, stejně jako vypočítané modely, jsou uvedeny v příloze práce.
This diploma thesis deals with electron microscopy. Examined equipment is environmental scanning electron microscope (ESEM), namely scintillation a detector of the microscope. There is solved the influence of the profile of holes in diaphragms to the resulting pressure and gas flow on the path of secondary electrons at the detector. Introductory part of thesis informs about microscopy in general, with concentration on electron microscopy; especially on scanning microscope, because research is taken just on the environmental scanning electron microscope. Another part informs about both general principles of dynamics of gases and with finite volume method. Another part deals with concrete used software and with setting of individual parameters for calculation. At the beginning of calculation are used five basic profiles of holes in diaphragms for pressure 1000 Pa in the chamber of the sample. For modelling individual shapes is used 3D parametric modeller SolidWorks. Analysis of circulation of secondary electrons through detector is made by using Cosmos FloWorks module. The most suitable type of diaphragms is chosen from measured models. Another part of diploma thesis deals with measuring of chosen types of diaphragms for more pressures in the chamber of the sample; the pressure is 200, 400, 600, 800 and 1000 Pa. The outcomes of this research are both models of pressure and speed of circulation inside the detector and graphically processed values by using different diaphragms, respectively one type of a diaphragm in different pressures. Production drawings of each diaphragm, together with calculated models, are enclosed.
This diploma thesis deals with electron microscopy. Examined equipment is environmental scanning electron microscope (ESEM), namely scintillation a detector of the microscope. There is solved the influence of the profile of holes in diaphragms to the resulting pressure and gas flow on the path of secondary electrons at the detector. Introductory part of thesis informs about microscopy in general, with concentration on electron microscopy; especially on scanning microscope, because research is taken just on the environmental scanning electron microscope. Another part informs about both general principles of dynamics of gases and with finite volume method. Another part deals with concrete used software and with setting of individual parameters for calculation. At the beginning of calculation are used five basic profiles of holes in diaphragms for pressure 1000 Pa in the chamber of the sample. For modelling individual shapes is used 3D parametric modeller SolidWorks. Analysis of circulation of secondary electrons through detector is made by using Cosmos FloWorks module. The most suitable type of diaphragms is chosen from measured models. Another part of diploma thesis deals with measuring of chosen types of diaphragms for more pressures in the chamber of the sample; the pressure is 200, 400, 600, 800 and 1000 Pa. The outcomes of this research are both models of pressure and speed of circulation inside the detector and graphically processed values by using different diaphragms, respectively one type of a diaphragm in different pressures. Production drawings of each diaphragm, together with calculated models, are enclosed.
Description
Citation
NOVOTNÝ, M. Vyhodnocení vlivu tvaru otvorů clonek na výsledný tlak na dráze sekundárních elektronů v detektoru pomocí systému CAE [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
doc. Ing. Vítězslav Novák, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Ivana Groligová, CSc. (člen)
Ing. Petr Špičák, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Špinka (člen)
Date of acceptance
2011-06-08
Defence
Diplomant seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
Je nutné znát Machovo číslo pro vyhodnocování?
Srovnával jste Vámi namodelované clony s konkrétním zařízením?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení