Plazmatické povrchové úpravy skleněných vláken na bázi organokřemičitanů

Abstract

Tato práce je zaměřena na přípravu tenkých polymerních vrstev na skleněná vlákna připravených depozicí z plynné fáze v nízkoteplotním plazmatu (PE CVD) ze směsi tetravinylsilanu (TVS) a kyslíku. K charakterizaci tenkých polymerních vrstev a k optimalizaci depozičních podmínek, které by byly reprodukovatelné, byly napřed připraveny vrstvy na plošných substrátech.

This thesis is aimed at preparation of thin plasma-polymerized films deposited on glass fibers by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE CVD) from a mixture of tetravinylsilane (TVS) and oxygen gas. Plasma-polymerized films which were deposited on silicon wafers were used to characterize chemical properties and optimization of deposition process with respect to reproducibility.