Show simple item record

Surface contamination of optical elements studied by Low Energy Ion Scattering LEIS

dc.contributor.advisorPrůša, Stanislavcs
dc.contributor.authorSekula, Filipcs
dc.date.accessioned2019-06-27T10:41:19Z
dc.date.available2019-06-27T10:41:19Z
dc.date.created2019cs
dc.identifier.citationSEKULA, F. Studium povrchové kontaminace optických dílů pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019.cs
dc.identifier.other117421cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/179350
dc.description.abstractTato práce se věnuje studiu povrchové kontaminace optických dílů metodou rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS. Výskyt povrchových nečistot na optických komponentách má negativní dopad na tenké vrstvy na ně nanášené. Ke kontaminaci může docházet mezi jednotlivými kroky výroby. Určením složení těchto nečistot by bylo možné jim předcházet a zvýšit tak efektivitu vrstvících procesů. Měření je prováděno na pravoúhlých optických hranolech za pokojové teploty. Zabýváme se také konstrukcí držáku vzorků s možností jejich vyhřívání v preparační komoře. Dále se věnujeme referenčním měřením k následné kvantifikaci povrchových nečistot.cs
dc.description.abstractThis thesis focuses on study of surface contamination of optical elements using the low energy ion scattering method, LEIS. Presence of surface contaminations on optical elements has a negative contribution on thin layers that are applied upon them. The contamination can occur between the steps of manufacturing process. By determining the composition of the contaminations it could be possible to increase effectiveness during the growth of thin layers. Measurement is realised on right angle prisms at room temperature. We also focus on construction of sample holder that would allow heating of samples in the preparation chamber. Later we measure reference spectra for quantification of surface contamination.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectLEIScs
dc.subjectdržák vzorkůcs
dc.subjectvyhřívání vzorkůcs
dc.subjectpovrchové nečistotycs
dc.subjectoptické dílycs
dc.subjectLEISen
dc.subjectsample holderen
dc.subjectsample heatingen
dc.subjectsurface contaminationen
dc.subjectoptical elementsen
dc.titleStudium povrchové kontaminace optických dílů pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIScs
dc.title.alternativeSurface contamination of optical elements studied by Low Energy Ion Scattering LEISen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2019-06-20cs
dcterms.modified2019-06-21-14:08:44cs
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
sync.item.dbid117421en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2020.03.30 23:40:04en
sync.item.modts2020.03.30 21:49:49en
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
dc.contributor.refereeKolíbal, Miroslavcs
dc.description.markBcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Zákon zachování energie při binární srážce.cs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.jazykčeština (Czech)


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record