Show simple item record

Mechanical and optical design of spectroscopic system for reactive ion etching system

dc.contributor.advisorŠerý, Mojmírcs
dc.contributor.authorŠilhan, Lukášcs
dc.date.accessioned2019-06-27T10:43:00Z
dc.date.available2019-06-27T10:43:00Z
dc.date.created2019cs
dc.identifier.citationŠILHAN, L. Konstrukce spektroskopického systému pro systém reaktivního iontového leptání [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019.cs
dc.identifier.other116630cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/179402
dc.description.abstractZáznam emisního spektra plazmatu během reaktivního iontového leptání umožňuje charakterizaci leptaných látek a kontrolu nad leptacím procesem. V rámci této diplomové práce je navržen spektroskopický systém v konfiguraci Czerny-Turner, pro použití na systému reaktivního iontového leptání. Vyvinutý spektroskop dosahuje rozlišení 1 nm v oblasti 350-800 nm. Zařízení bylo testováno během reaktivního iontového leptání křemíku.cs
dc.description.abstractMeasurement of absorption spectra of plasma during reactive ion etching enables characterization of etched species and control over the etching process. Aim of this diploma thesis is to design spectroscope with Czerny-Turner configuration for reactive ion etching system. Developed spectroscope achieves 1 nm resolution in 350-800 nm range. Device was tested during reactive ion etching of silicon.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectoptická emisní spektroskopiecs
dc.subjectCzerny-Turner spektroskopcs
dc.subjectoptický návrhcs
dc.subjectreaktivní iontové leptánícs
dc.subjectRIEcs
dc.subjectDRIEcs
dc.subjectoptical emission spektroscopyen
dc.subjectCzerny-Turner spectroscopeen
dc.subjectoptical designen
dc.subjectreactive ion etchingen
dc.subjectRIEen
dc.subjectDRIEen
dc.titleKonstrukce spektroskopického systému pro systém reaktivního iontového leptánícs
dc.title.alternativeMechanical and optical design of spectroscopic system for reactive ion etching systemen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2019-06-19cs
dcterms.modified2019-06-20-09:49:41cs
thesis.disciplinePřesná mechanika a optikacs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
sync.item.dbid116630en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2020.03.30 13:40:41en
sync.item.modts2020.03.30 12:36:34en
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
dc.contributor.refereeDostál, Zbyněkcs
dc.description.markBcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Není z hlediska výroby náročný tvar spektrometru? Co by se v návrhu muselo změnit, aby šlo o zobrazovací spektrometr.cs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.jazykčeština (Czech)


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record