Tenkovrstvé systémy
Thin-film systems
Author
Advisor
Zatloukal, MiroslavReferee
Máca, JosefGrade
BAltmetrics
Metadata
Show full item recordAbstract
Tato bakalářská práce se zabývá tvorbou tenkých vrstev na různé druhy substrátů. V rámci teoretické části je přehled tvorby tenkých vrstev pomocí několika technik. V práci se nachází přehled používaných procesů čištění substrátů před depozicí tenké vrstvy a nástroje pro vyhodnocování jejich vlastností. V jejím závěru je rozebrána metoda maskování. V experimentální části proběhlo seznamování s naprašovacím zařízením NP – 12 a výroba vzorků. Byla vyhodnocena adheze vyrobených vzorků. Následovala elektrodepozice vzorků s titanovým povlakem. Závěrem proběhlo maskování křemíkového substrátu. This bachelor thesis concerns to create of thin films on various types of substrates. In the theoretical parts is an overview of the formation of thin films using several techniques. The thesis contains an overview of substrate cleaning processes before the deposition of layer plates and tools for evaluating their properties. Finally, the masking method is discussed. In the experimental part, the acquaintance with the NP - 12 sputtering device and the production of samples took place. The adhesion of the produced samples was evaluated. Electrolysis of samples with titanium coated followed. Finally, the silicon substrate was masked.
Keywords
Tenká vrstva, elektrodepozice, naprašování, napařování, tloušťka, odpor na čtverec, předúprava povrchu, adheze, maskování., Thin film layer, electrodeposition, sputtering, evaporation, thickness, resistance per square, surface pretreatment, adhesion, masking.Language
čeština (Czech)Study brunch
bez specializaceComposition of Committee
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (předseda) Ing. Roman Prokop, Ph.D. (místopředseda) Ing. Miroslav Zatloukal (člen) Ing. Pavel Čudek, Ph.D. (člen) Ing. Petr Vyroubal, Ph.D. (člen)Date of defence
2020-06-24Process of defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta a komise. Otázky komise k obhajobě: 1. Proč se rozpustil titan v siranu? 2. Proč máte v práci různé tlaky a různé výšky vrstev? 3. Kolik vzorků jste dělal? 4. Jaký je váš závěr a doporučení nejlepší metody?Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaPersistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/190534Source
KUCHAŘÍK, J. Tenkovrstvé systémy [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2020.Collections
- 2020 [427]