• čeština
    • English
    • русский
  • English 
    • čeština
    • English
    • русский
  • Login
View Item 
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • bakalářské práce
  • Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
  • 2020
  • View Item
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • bakalářské práce
  • Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
  • 2020
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Tenkovrstvé systémy

Thin-film systems

Thumbnail
View/Open
final-thesis.pdf (2.821Mb)
review_127073.html (5.468Kb)
Author
Kuchařík, Jan
Advisor
Zatloukal, Miroslav
Referee
Máca, Josef
Grade
B
Altmetrics
Metadata
Show full item record
Abstract
Tato bakalářská práce se zabývá tvorbou tenkých vrstev na různé druhy substrátů. V rámci teoretické části je přehled tvorby tenkých vrstev pomocí několika technik. V práci se nachází přehled používaných procesů čištění substrátů před depozicí tenké vrstvy a nástroje pro vyhodnocování jejich vlastností. V jejím závěru je rozebrána metoda maskování. V experimentální části proběhlo seznamování s naprašovacím zařízením NP – 12 a výroba vzorků. Byla vyhodnocena adheze vyrobených vzorků. Následovala elektrodepozice vzorků s titanovým povlakem. Závěrem proběhlo maskování křemíkového substrátu.
 
This bachelor thesis concerns to create of thin films on various types of substrates. In the theoretical parts is an overview of the formation of thin films using several techniques. The thesis contains an overview of substrate cleaning processes before the deposition of layer plates and tools for evaluating their properties. Finally, the masking method is discussed. In the experimental part, the acquaintance with the NP - 12 sputtering device and the production of samples took place. The adhesion of the produced samples was evaluated. Electrolysis of samples with titanium coated followed. Finally, the silicon substrate was masked.
 
Keywords
Tenká vrstva, elektrodepozice, naprašování, napařování, tloušťka, odpor na čtverec, předúprava povrchu, adheze, maskování., Thin film layer, electrodeposition, sputtering, evaporation, thickness, resistance per square, surface pretreatment, adhesion, masking.
Language
čeština (Czech)
Study brunch
bez specializace
Composition of Committee
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (předseda) Ing. Roman Prokop, Ph.D. (místopředseda) Ing. Miroslav Zatloukal (člen) Ing. Pavel Čudek, Ph.D. (člen) Ing. Petr Vyroubal, Ph.D. (člen)
Date of defence
2020-06-24
Process of defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta a komise. Otázky komise k obhajobě: 1. Proč se rozpustil titan v siranu? 2. Proč máte v práci různé tlaky a různé výšky vrstev? 3. Kolik vzorků jste dělal? 4. Jaký je váš závěr a doporučení nejlepší metody?
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájena
Persistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/190534
Source
KUCHAŘÍK, J. Tenkovrstvé systémy [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2020.
Collections
  • 2020 [427]
Citace PRO

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV
 

 

Browse

All of repositoryCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV