Show simple item record

Creating themes thin-film methods

dc.contributor.advisorŠubarda, Jiřícs
dc.contributor.authorOndráček, Michalcs
dc.date.accessioned2018-10-21T20:37:34Z
dc.date.available2018-10-21T20:37:34Z
dc.date.created2014cs
dc.identifier.citationONDRÁČEK, M. Tvorba motivů tenkovrstvými metodami [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.cs
dc.identifier.other74371cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/32575
dc.description.abstractDiplomová práce se zabývá teorií technologie tenkých vrstev, zejména vytvářením těchto vrstev. Dále práce obsahuje rozdělení vakuových depozičních technik na fyzikální (PVD) a chemické (CVD). Hlavním cílem práce je vytvořit motivy různými způsoby realizace pomocí magnetronového naprašovacího zařízení a tyto motivy vyhodnotit z hlediska kvality naprášení.cs
dc.description.abstractThe master’s thesis deals with the theory of thin film technology, especially creating these layers. The work includes the distribution of vacuum deposition techniques for physical (PVD) and chemical (CVD). The main aim is to create a theme in different ways of implementation by using magnetron sputtering device, and these motives evaluated in terms of the quality of sputtering.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectTenká vrstvacs
dc.subjecttenkovrstvá technologiecs
dc.subjectfyzikální depozice vrstev (PVD)cs
dc.subjectchemická depozice vrstev (CVD)cs
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subjectstrukturycs
dc.subjectThin filmen
dc.subjectthin film technologyen
dc.subjectphysical vapour deposition (PVD)en
dc.subjectchemical vapour deposition (CVD)en
dc.subjectMagnetron Sputteringen
dc.subjectstructureen
dc.titleTvorba motivů tenkovrstvými metodamics
dc.title.alternativeCreating themes thin-film methodsen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2014-06-10cs
dcterms.modified2014-06-13-12:06:34cs
thesis.disciplineElektrotechnická výroba a managementcs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologiecs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
sync.item.dbid74371en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2020.03.30 21:27:17en
sync.item.modts2020.03.30 20:27:13en
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.contributor.refereeŠimonová, Luciecs
dc.description.markBcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
but.committeedoc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (předseda) prof. Ing. Vojtěch Koráb, Dr., MBA (místopředseda) Ing. Zdenka Rozsívalová (člen) Ing. Petr Dvořák, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (člen)cs
but.defence1) Popiste strukturu trielektrodove sablony uvedene v diplomove praci. 2) Pojmenujte elektrody v trielektrodovem sytemu. 3) Vyjádřete se ke vytahu rozliseni naprasovacího zařízeni a rozlišení které jsme schopni dosáhnout v nasich laboratornich podminkach pri tvorbe motivu.cs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.jazykčeština (Czech)


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record