Show simple item record

Mechanical design of measurement system for reactive ion etching system

dc.contributor.advisorŠerý, Mojmírcs
dc.contributor.authorMaňka, Tadeášcs
dc.date.accessioned2018-10-21T16:39:48Z
dc.date.available2018-10-21T16:39:48Z
dc.date.created2016cs
dc.identifier.citationMAŇKA, T. Konstrukce odměřovacího systému pro systém reaktivního iontového leptání [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2016.cs
dc.identifier.other93104cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/60675
dc.description.abstractCílem této diplomové práce je zkonstruovat funkční odměřovací systém pro systém reaktivního iontového leptání (RIE). V práci je použit předchozí návrh Michelsonova interferometru vyvinutého na Ústavu přístrojové techniky, v.v.i. (ÚPT). Teoretická část práce se věnuje problematice interferenčních metod pro přesné měření délek. V další části je popsán proces leptání pomocí RIE. V praktické části je navržena testovací sestava z dílů firmy Thorlabs. Na ní je odzkoušena funkčnost a přesnost měření je porovnána s profilometrem. Dalším krokem je optimalizace navržené sestavy. Byla vytvořena technická dokumentace a vyrobena odměřovací aparatura na míru pro účely pracovníků ÚPT.cs
dc.description.abstractThe aim of this work is to design fully working measuring system for the reactive ion etching system (RIE). The Michelson interfometer, previously developed in Ústav přístrojové techniky, v.v.i., is used in this work. The theoretical part is aimed at description of interferometric methods for precise measuring of length. In next part the etching proces with RIE is described. In practical part the testing system was constructed from the parts of Thorlabs company . The functionality was controlled with this system and the results of measuring were compared with the profilometer. In next step technical drawings were created and the whole system was made.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectinterferometriecs
dc.subjectMichelsonův interferometrcs
dc.subjectreaktivní iontové leptánícs
dc.subjectRIEcs
dc.subjectpřesné měření délekcs
dc.subjectkinematický držákcs
dc.subjectinterferometryen
dc.subjectMichelson interferometeren
dc.subjectreactive ion etchingen
dc.subjectRIEen
dc.subjectprecise measuring of lengthen
dc.titleKonstrukce odměřovacího systému pro systém reaktivního iontového leptánícs
dc.title.alternativeMechanical design of measurement system for reactive ion etching systemen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2016-06-21cs
dcterms.modified2016-06-22-12:31:02cs
thesis.disciplinePřesná mechanika a optikacs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
sync.item.dbid93104en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2019.06.21 10:37:14en
sync.item.modts2019.05.18 04:40:35en
dc.contributor.refereeAntoš, Martincs
dc.description.markAcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record