Show simple item record

Design and Realization of the Second Generation Imaging Reflectometer and its Application in Optical Analysis of Thin Films

dc.contributor.advisorOhlídal, Miloslavcs
dc.contributor.authorVodák, Jiřícs
dc.date.accessioned2019-06-14T11:05:36Z
dc.date.available2019-06-14T11:05:36Z
dc.date.created2017cs
dc.identifier.citationVODÁK, J. Návrh a realizace zobrazovacího reflektometru 2. generace a jeho aplikace v optické analýze tenkých vrstev [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2017.cs
dc.identifier.other98174cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/63676
dc.description.abstractPráce se zabývá technikou zobrazovací spektroskopické reflektometrie vyvíjenou na Ústavu fyzikálního inženýrství Vysokého učení technického v Brně. Jedná se o techniku vhodnou k charakterizaci vzorků neuniformních podél jejich povrchu. Technika je primárně používána k optické charakterizaci tenkých vrstev. V úvodní části práce jsou popsány základní fyzikální principy, na kterých je technika založena. Dále je popsána metodika získávání měřených dat a základní popis metod zpracování těchto dat. Je rovněž popsán základní koncept zobrazovacího spektroskopického reflektometru včetně rozboru různých variant jednotlivých částí přístroje. V hlavní části se práce zabývá popisem dvou realizovaných přístrojů včetně popisu některých kroků při vývoji těchto přístrojů. Jsou také prezentovány výsledky měření provedených se zmíněnými přístroji. V závěru práce je pak nastíněn a odůvodněn směr vývoje techniky zobrazovací spektroskopické reflektometrie k zobrazovací spektroskopické elipsometrii.cs
dc.description.abstractThe work deals with a technique of imaging spectroscopic reflectometry developed at The Institute of Physical Engineering, Brno University of Technology. The technique is well suited for characterization of samples non–uniform along their surfaces. The technique is primarily used for optical characterization of thin films. First part of the work is focused on basic physical principles of the technique and on ways in which measurement data are obtained. It contains a basic description of evaluating methods and a basic concept of an imaging spectroscopic reflectometer with a description of main parts of such a device. The main part of the work is focused on a description of two devices which were built at The Institute of Physical Engineering together with a description of some of upgrades which were implemented to these devices during their development. A description of measurements done with the two devices is also included. Last part of the work is then focused on further development of the technique. Intention of possible evolution of the technique to imaging spectroscopic ellipsometry is proposed.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectZobrazovací spektroskopická reflektometriecs
dc.subjectoptická charakterizacecs
dc.subjecttenké vrstvy.cs
dc.subjectmaging spectroscopic reflectometryen
dc.subjectoptical characterizationen
dc.subjectthin films.en
dc.titleNávrh a realizace zobrazovacího reflektometru 2. generace a jeho aplikace v optické analýze tenkých vrstevcs
dc.title.alternativeDesign and Realization of the Second Generation Imaging Reflectometer and its Application in Optical Analysis of Thin Filmsen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2017-03-23cs
dcterms.modified2017-03-24-09:35:37cs
thesis.disciplineFyzikální a materiálové inženýrstvícs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelDoktorskýcs
thesis.namePh.D.cs
sync.item.dbid98174en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2020.03.31 09:26:14en
sync.item.modts2020.03.31 04:56:06en
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
dc.contributor.refereeDržík,, Milancs
dc.contributor.refereeKlapetek, Petrcs
dc.description.markPcs
dc.type.driverdoctoralThesisen
dc.type.evskpdizertační prácecs
but.committeeprof. Ing. Jiří Švejcar, CSc. (předseda) Mgr. Petr Klapetek, Ph.D. (člen) Mgr. Milan Držík, CSc. (člen) prof. Ing. Josef Lazar, Dr. (člen) doc. Ing. Vladimír Kolařík, Ph.D. (člen) Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (člen)cs
but.defenceTéma disertace se zabývá aktuálním problémem mapováním optických vlastností tenkých vrstev s vysokým uplatněním v optice a polovodičových technologiích. Výsledky doktorand publikovat v reprezentativních časopisech. Teze práce: Vytvořit samostatný odstavec s uvedením cílů disertace a jejich splněním.cs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
but.programFyzikální a materiálové inženýrstvícs
but.jazykčeština (Czech)


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record