Analýza komory diferenciálního čerpání EREM pomocí systému Cosmos FloWorks
Using Cosmos FloWorks for analysis of the ESEM differential chamber
Аннотации
V práci bude nejprve popsána stručná problematika elektronové mikroskopie a následně v systému SolidWorks vymodelovány vybrané tři tvary komory diferenciálního čerpání, na kterých bude pomocí systému Cosmos FloWorks provedena analýza čerpání plynu pro vytvoření vakua. Výsledky analýzy budou podrobeny zhodnocení vzhledem k požadavku, aby v dráze primárního svazku elektronů byl co nejnižší tlak z důvodu zabránění jeho rozptylu. The paper outlines fundamental issues of electron microscopy and models three selected shapes of the differential chamber using the SolidWorks system. The models are then analysed using Cosmos FloWorks with regard to vacuum pumping. The aim is to find a model with minimum pressure in the electron beam trajectory and hence the least dissipation.
Language
čeština (Czech)Study brunch
Elektrotechnická výroba a managementComposition of Committee
prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (předseda) doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. František Bartes, CSc. (člen) doc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (člen) doc. Ing. Petr Křivík, Ph.D. (člen)Date of defence
2009-06-09Process of defence
Diplomant seznámil státní zkušební komisi se zadáním, zpracováním a výsledky své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky u obhajoby: 1. Čím si vysvětlujete nárůst tlaku a pokles rychlosti částic plynu v oblasti před clonkou PLA2 ? 2. Doporučte postup dalších prací v této oblasti. 3. Výhody Lavalovy dýzy.Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaSource
JAŠEK, M. Analýza komory diferenciálního čerpání EREM pomocí systému Cosmos FloWorks [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.Collections
- 2009 [486]