• čeština
    • English
  • čeština 
    • čeština
    • English
  • Login
View Item 
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • dizertační práce
  • Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
  • 2017
  • View Item
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • dizertační práce
  • Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
  • 2017
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Optimalizace scintilačního detektoru pro detekci nízkoenegiových signálních elektronů v elektronové mikroskopii

Optimization of scintillation detector for detection of low energy signal electrons in electron microscopy

Thumbnail
View/Open
Posudek-Oponent prace-Kadlec_Oponentsky posudek_Tihlarikova_final.pdf (223.5Kb)
Posudek-Oponent prace-Uruba_posudekTihlarikova.pdf (318.6Kb)
final-thesis.pdf (4.334Mb)
review_106051.html (2.819Kb)
Author
Tihlaříková, Eva
Advisor
Neděla, Vilém
Referee
Kadlec, Jaromír
Uruba, Václav
Grade
P
Alternative metrics PlumX
http://hdl.handle.net/11012/69927http://hdl.handle.net/11012/195796
Altmetrics
http://hdl.handle.net/11012/69927

http://hdl.handle.net/11012/195796
http://hdl.handle.net/11012/69927

http://hdl.handle.net/11012/195796
Metadata
Show full item record
Abstract
Dizertační práce se zabývá optimalizací scintilačního detektoru pro účinnou detekci nízkoenergiových signálních elektronů v komoře vzorku rastrovacího elektronového mikroskopu. Řešení vycházelo ze studia mechanismů ztrát energie signálních elektronů během jejich interakce s vodivou vrstvou a scintilátorem, které je možné studovat pomocí simulací založených na stochastické metodě Monte Carlo. Na základě testovacích simulací a srovnání jejich výsledků s dostupnými experimentálními daty byl vybrán vhodný Monte Carlo software. Následně byly kvantifikovány ztráty energie signálních elektronů rozdílných energií při jejich průchodu konkrétními vodivými vrstvami na povrchu scintilátorů a během jejich interakce se scintilátory. Výsledky simulací umožnily definovat kritéria pro optimalizaci vodivých vrstev, které byly následně naneseny na scintilátory a experimentálně měřeny ve scintilačním detektoru rastrovacího elektronového mikroskopu. Tato měření umožnila verifikovat výsledky simulací a poskytla řadu nových informací o vlivu materiálu a tloušťky vodivých vrstev, v kombinaci s materiálem scintilátoru a světlovodu. Zvýšení detekční účinnosti scintilačního detektoru s optimalizovanými vodivými vrstvami, schopného detekovat nízkoenergiové signálních elektrony, bylo experimentálně prokázáno.
 
The dissertation thesis deals with optimization of the scintillation detector for efficient detection of low energy signal electrons in a specimen chamber of a scanning electron microscope. The solution was based on the study of signal electron energy loss mechanisms during their interaction with a conductive layer and a scintillator that can be studied using simulations based on the stochastics Monte Carlo methods. Based on test simulations and their comparison with experimental data, the ideal Monte Carlo software was chosen and used for the study of signal electron energy losses during their transport through the conductive layer as well as following interaction with scintillator, in dependency on the signal electron energy. Simulation results allowed to define criteria for the optimization of the conductive layer. According to these parameters, the optimized layers were deposited on the surface of different scintillators and experimentally tested in the scintillation detector of the scanning electron microscope. Experimental measurements allowed to verify accomplished simulations and provide new information about impact of materials and thicknesses of conductive layers in combination with materials of scintillators and light guides. The increase of the detection efficiency of the scintillation detector equipped with optimised conductive layers and its capability to detect low energy signal electrons were experimentally proved.
 
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop, Monte Carlo simulace, scintilační detektor, scintilátor, vodivá vrstva, světlovod, signální elektrony., Scanning electron microscope, Monte Carlo simulations, scintillation detector, scintillator, conductive layer, light guide, signal electrons.
Language
čeština (Czech)
Study brunch
Mikroelektronika a technologie
Composition of Committee
prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda) prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. - oponent (člen) doc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (člen) doc. Ing. Josef Jirák, CSc. (člen) prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (člen) prof. Ing. Pavel Koktavý, CSc. Ph.D. (člen) prof. Ing. Václav Uruba, CSc. - oponent (člen)
Date of defence
2017-12-20
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájena
Persistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/69927
http://hdl.handle.net/11012/195796
Source
TIHLAŘÍKOVÁ, E. Optimalizace scintilačního detektoru pro detekci nízkoenegiových signálních elektronů v elektronové mikroskopii [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2017.
Collections
  • 2017 [38]
Citace PRO


Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV
 

 

Browse

All of repositoryCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV