• čeština
    • English
    • русский
  • English 
    • čeština
    • English
    • русский
  • Login
View Item 
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • diplomové práce
  • Fakulta strojního inženýrství
  • 2009
  • View Item
  •   Repository Home
  • Závěrečné práce
  • diplomové práce
  • Fakulta strojního inženýrství
  • 2009
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Selektivní růst kovových materiálů.

Selective growth of metallic materials.

Thumbnail
View/Open
final-thesis.pdf (3.869Mb)
review_20858.html (9.373Kb)
Author
Šimíková, Michaela
Advisor
Čechal, Jan
Referee
Schneeweiss, Oldřich
Grade
A
Altmetrics
Metadata
Show full item record
Abstract
Diplomová práce pojednává o studiu selektivního růstu tenkých vrstev kobaltu na Si(111) s tenkou vrstvou oxidu křemičitého na mřížkách, které byly vytvořeny metodou fokusovaného iontového svazku, a o růstu a morfologii tenké vrstvy železa rostoucí na substrátu Si/SiO2 bez úpravy. Dále jsou zkoumány vrstvy a-C:H, vliv depozičních parametrů na jejich vlastnosti a poměr vazeb sp2 a sp3. Pro analýzu těchto vrstev jsou použity metody XPS, AFM a SEM.
 
The diploma thesis deals with selective growth of cobalt thin films on lattices created by focused ion beam on Si(111) substrates with thin film of silicon dioxide. Further, the growth and morphology of iron thin films growing on Si/SiO2 substrate without modification was studied. In the last part, thin film of a-C:H, influence of preparation parameters on their growth and ratio of sp2 and sp3 bonds, was investigated. For analysis of those films XPS, AFM, and SEM metods were used.
 
Keywords
kobalt, železo, křemík, SiO2, tenká vrstva, DLC, a-C:H, AFM, XPS, SEM, morfologie, sp2, sp3, cobalt, iron, silicon, SiO2, thin film, DLC, a-C:H, AFM, XPS, SEM, morphology, sp2, sp3
Language
čeština (Czech)
Study brunch
Fyzikální inženýrství
Composition of Committee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of defence
2009-06-17
Process of defence
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájena
Persistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/7067
Source
ŠIMÍKOVÁ, M. Selektivní růst kovových materiálů. [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009.
Collections
  • 2009 [436]
Citace PRO

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV
 

 

Browse

All of repositoryCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

Portal of libraries | Central library on Facebook
DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback | Theme by @mire NV