Show simple item record

Deposition of plasma polymer films

dc.contributor.advisorČech, Vladimírcs
dc.contributor.authorMalá, Michaelacs
dc.date.accessioned2018-10-21T21:45:34Z
dc.date.available2018-10-21T21:45:34Z
dc.date.created2010cs
dc.identifier.citationMALÁ, M. Depozice plazmových polymerů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2010.cs
dc.identifier.other23903cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/7250
dc.description.abstractTato bakalářská práce je zaměřena na charakterizaci a přípravu tenkých polymerních vrstev plazmochemickou depozicí z plynné fáze na plošný substrát z křemíku. Hlavní součástí práce je literární rešerše z oblasti plazmové polymerace a metod charakterizace tenkých polymerních vrstev. V experimentální části byly připraveny tenké polymerní vrstvy z par monomeru tetravinylsilanu. Připravené tenké vrstvy byly charakterizovány mikroskopickými a spektroskopickými technikami. Stanovené fyzikální a chemické vlastnosti připravených struktur byly sledovány s ohledem na depoziční podmínky v nízkoteplotním plazmatu.cs
dc.description.abstractThis bachelor thesis is focused on the characterization and preparation of thin polymer layers deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition on silicon wafer. The main part of the work is a literature review about the plasma polymerization and methods of characterization of thin polymer layers. In the experimental section were prepared thin layers of polymer from the monomer vapor of tetravinylsilane. Prepared thin films were characterized by microscopic and spectroscopic techniques. The physical and chemical properties of deposited films were studied with respect to the deposition conditions in low-temperature plasma.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemickács
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectTenké vrstvycs
dc.subjectplazmová polymeracecs
dc.subjectanalýza plazmových polymerůcs
dc.subjectThin filmsen
dc.subjectplasma polymerizationen
dc.subjectanalysis of plasma polymersen
dc.titleDepozice plazmových polymerůcs
dc.title.alternativeDeposition of plasma polymer filmsen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2010-06-23cs
dcterms.modified2010-07-12-11:45:03cs
thesis.disciplineChemie, technologie a vlastnosti materiálůcs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. Ústav chemie materiálůcs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
sync.item.dbid23903en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2020.03.31 01:03:06en
sync.item.modts2020.03.31 00:31:28en
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta chemickács
dc.contributor.refereeBrablec, Antoníncs
dc.description.markAcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
but.committeeprof. RNDr. Josef Jančář, CSc. (předseda) prof. Ing. Jaromír Havlica, DrSc. (místopředseda) prof. Ing. Ladislav Omelka, DrSc. (člen) doc. RNDr. Jaroslav Petrůj, CSc. (člen) prof. Ing. Tomáš Svěrák, CSc. (člen)cs
but.defencePrezentace bakalářské práce byla provedena na velmi dobré formální i obsahové úrovni. Uchazečka prokázala velmi dobrou znalost řešené problematiky. Otázky oponenta i členů komise zodpověděla správně a prokázala, že výsledky práce jsou velmi zajímavé.cs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
but.programChemie a chemické technologiecs
but.jazykčeština (Czech)


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record