Analýza vlivu umístění kónické clony v nadzvukovém proudu v komoře diferenciálního čerpání.
Analysis of the impact of the conic aperture placement in the supersonic flow in the differentially pumped chamber
Author
Advisor
Maxa, JiříReferee
Bílek, MichalGrade
AAlternative metrics PlumX
http://hdl.handle.net/11012/80898Altmetrics
http://hdl.handle.net/11012/80898
http://hdl.handle.net/11012/80898
Metadata
Show full item recordAbstract
Práce je zaměřena na problematiku simulace dynamiky média v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Konkrétně se zabývá zkoumáním vlivu umístění kónické clony v diferenciálně čerpané komoře a šířkou čerpacího kanálu v této komoře. Teoretická část práce se zabývá obecně environmentálním rastrovacím mikroskopem a dalšími nástroji použitými v této práci, jako software ANSYS Fluen, turbulence tekutin, střední volná dráha molekul a rozptyl elektronů. V praktické části je práce zaměřena na zpracování dat z programu ANSYS Fluent a na jejich vyhodnocení. The thesis is focused on the medium dynamics simulation in the environmental scanning electron microscope. Specifically, it researches (examines) the conical aperture location effect in the differential pumped chamber and the width of the pumping channel in this chamber. The theoretical part deals with the environmental scanning microscope generally and other tools used in this thesis, e.g. ANSYS Fluen software, fluid turbulence, medium free path of molecules and electrons scattering. In the practical part, the work is focused on data processing from the ANSYS Fluent program and on their evaluation.
Keywords
Environmentální rastrovací elektronový mikroskop, elektronová mikroskopie, ANSYS Fluent, diferenciálně čerpaná komora, Environmental scanning electron microscope, Electron microscopy, ANSYS Fluent, Differentially pumped chamberLanguage
čeština (Czech)Study brunch
Elektrotechnická výroba a materiálové inženýrstvíComposition of Committee
prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (předseda) doc. Ing. Vít Chlebovský, Ph.D. (místopředseda) Ing. Miroslav Zatloukal (člen) Ing. Ladislav Chladil, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Libich, Ph.D. (člen)Date of defence
2018-06-05Process of defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Doplňující otázky: 1) Jaká je odchylka výsledků simulací a měření?Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaPersistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/80898Source
ROUS, M. Analýza vlivu umístění kónické clony v nadzvukovém proudu v komoře diferenciálního čerpání. [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2018.Collections
- 2018 [348]