Analýza vlivu umístění kónické clony v nadzvukovém proudu v komoře diferenciálního čerpání.

Abstract

Práce je zaměřena na problematiku simulace dynamiky média v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Konkrétně se zabývá zkoumáním vlivu umístění kónické clony v diferenciálně čerpané komoře a šířkou čerpacího kanálu v této komoře. Teoretická část práce se zabývá obecně environmentálním rastrovacím mikroskopem a dalšími nástroji použitými v této práci, jako software ANSYS Fluen, turbulence tekutin, střední volná dráha molekul a rozptyl elektronů. V praktické části je práce zaměřena na zpracování dat z programu ANSYS Fluent a na jejich vyhodnocení.

The thesis is focused on the medium dynamics simulation in the environmental scanning electron microscope. Specifically, it researches (examines) the conical aperture location effect in the differential pumped chamber and the width of the pumping channel in this chamber. The theoretical part deals with the environmental scanning microscope generally and other tools used in this thesis, e.g. ANSYS Fluen software, fluid turbulence, medium free path of molecules and electrons scattering. In the practical part, the work is focused on data processing from the ANSYS Fluent program and on their evaluation.