Kontrast v obraze získaném pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM
Contrast in image aquired by scintillation SE detector for VP SEM
Abstract
První část této práce je teoretické pojednání o základech rastrovací elektronové mikroskopie, složení a funkci elektronového mikroskopu, jeho speciálním případu rastrovacím elektronovém mikroskopu pro vyšší tlak (VP SEM), interakci elektronů s prostředím a o scintilačním detektoru. Praktická část je zaměřena na vyhodnocení materiálového kontrastu na vzorku mědi a wolframu v závislosti na tlaku vodních par v komoře vzorku mikroskopu a podmínkách detekce. First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of scanning electron microscopy, with structure and function of a scanning electron microscope, its’ special case of an various pressure scanning electron microscope, electron interaction with surrounding environment and with a scintillation detector. The applied part of the thesis is focused on evaluation of material contrast on Cu-W specimen. Material contrast is evaluated for different pressures of water vapors in the microscope specimen chamber and for different detection conditions.
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop pracující při vyšším tlaku, scintilační detektor, materiálový kontrast, Various pressure scanning electron microscope, scintillation detector, material contrastLanguage
čeština (Czech)Study brunch
Elektrotechnická výroba a managementComposition of Committee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda) doc. Ing. Vítězslav Novák, Ph.D. (místopředseda) Ing. Ivana Groligová, CSc. (člen) Ing. Petr Špičák, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Špinka (člen)Date of defence
2011-06-08Process of defence
Diplomant seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky u obhajoby: Popište funkci scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM.Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaPersistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/8167Source
KOUDELA, O. Kontrast v obraze získaném pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.Collections
- 2011 [553]