BURŠÍK, M. Nové oblasti aplikace ultrazvuku v mikroelektronických technologiích [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Tato disertační práce řeší depozicí tixotropních materiálů určených pro využití v mikroelektronických procesech a technologiích. Hlavním cílem je výzkum a vývoj nové metody dávkovacího procesu za účelem dosažení rozlišení nanášených motivů pod 100 µm. V průběhu řešení byla vyvinuta vývoj speciální dispensní hlavice využívající působení ultrazvukové energie pro homogenizaci nanášeného materiálu. Výsledky demonstrují možnosti nově vyvinuté metody, která může dosáhnout rozlišení výrazně pod 100 µm, což vytváří novou kategorii nanášení mezi standardními dispenzery a JET nanášení. Oproti JET je dosahováno těchto výsledků se standardními materiály pro tlustovrstvovou technologii. Vzhledem k tomu, že doktorand průběžně publikoval výsledky na tuzemských i zahraničních konferencích, s doktorandem spolupracuji i ve výuce laboratoří, a to bez jakýchkoliv problémů, doporučuji udělení titulu PhD.
viz posudek ve formátu pdf
viz posudek ve formátu pdf
eVSKP id 80045