JANÁK, M. Diagnostika polovodičů a monitorování chemických reakcí metodou SIMS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2021.
Marcel Janák se ve své práci zabýval širokým spektrem praktických problémů, které spojuje užití hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů. Z počátku se věnoval problematice lokalizace defektů na polovodičových součástkách vyrobených firmou On Semiconductor. Podařilo se mu vytvořit software umožňující 2D měření závěrných proudů čipů včetně jejich optické kontroly. Dále se zabýval kalibrací zařízení SIMS pro kvantitativní analýzu dopantů v AlGaN vrstvách. Stěžejní část práce byla pozorování katalytické oxidace oxidu uhelnatého pomocí zařízení SIMS v reálném čase. Jeho pozorování vzbudila zájem na univerzitě ETH Curych a pomohla k přijetí na doktorské studium. Marcel se během celého studia vždy intenzivně a svědomitě věnoval zadané problematice a jeho práce splnila všechny stanovené cíle. Hodnotím ji stupněm A.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | A |
Diplomová práce Bc. Marcela Janáka se zabývá možnostmi použití metody TOF-SIMS ve třech oblastech analýzy tenkých povrchů. Úvodní kapitola vysvětluje základní fyzikální a technické principy fungování přístroje TOF-SIMS. Druhá kapitola pojednává o lokalizaci defektů v polovodičových součástkách, kde diplomant naprogramoval a otestoval svůj vlastní software řídící experimentální měřící sestavu. Tím byla zdárně vyřešena automatizace procesu měření závěrného proudu a splněn první cíl práce. Ve třetí části práce byla pomocí iontové implantace hořčíku vytvořena sada AlxGa1-xN kalibračních vzorků, na kterých byla provedena kvantifikace hloubkových profilů, a tudíž splněn druhý cíl práce. V poslední kapitole diplomant demonstruje praktické použití metody TOF-SIMS v oblasti výzkumu heterogenní katalýzy na povrchu platiny, a to při oxidaci CO na CO2 pomocí O2. Bylo provedeno pozorování reakčně-difuzních procesů na povrchu platiny v reálném čase a za různých experimentálních podmínek, což považuji za velmi přínosné. Dále jsou v ní detailně popsány a porovnány výsledky měření ze zařízení UHV-SEM a TOF-SIMS. Lze zhodnotit, že tím byly plně splněny zbylé dva cíle zadání. Použité metody a postupy řešení u diplomanta demonstrují hloubkovou znalost problematiky. Nelze pochybovat o vlastním přínosu autora práce, který vidím kromě jiného především v návrhu originálního měřícího softwaru a protokolu. Ten, spolu s dalšími výsledky interpretovanými v předložené práci může najít uplatnění i v komerční oblasti. Diplomová práce je vhodně členěná a obsahuje veškeré formální náležitosti. Co se týče úpravy textu, práce nemá, až na drobné výjimky, pravopisní chyby a je na dobré úrovni. Ke práci s literaturou nemám žádné výhrady, což je podloženo také počtem použitých citací. Celkově vidím u této práce svědomitý inženýrský přístup, proto ji hodnotím stupněm A a doporučuji ji k obhajobě.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 133054