KRŇÁVEK, M. Metoda napěťového kontrastu v EREM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.

Posudky

Posudek vedoucího

Jirák, Josef

Pan Krńávek ve své práci řešil problematiku spojenou s využitím metody napěťového kontrastu v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii pro sledování rozložení elektrických polí na površích polovodičových součástek. Cíl práce, kterým bylo nalezení vhodných podmínek pro pozorování napěťového kontrastu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů, zcela splnil. K řešené problematice, se kterou se seznámil již v rámci semestrálního projektu, přistupoval odpovědně a se zájmem. V průběhu experimentálních prací zvládl obsluhu elektronového mikroskopu, samostatně prováděl jednotlivé experimenty, včetně jejich vyhodnocení. Vcelku dobře se orientoval v doporučené literatuře, kterou využil v teoretické části práce. Formální zpracování práce je na velmi dobré úrovni.

Dílčí hodnocení
Kritérium Známka Body Slovní hodnocení
Splnění zadání A 45/50
Aktivita během řešení a zpracování práce (práce s literaturou, využívání konzultací, atd.) B 17/20
Formální zpracování práce A 18/20
Využití literatury B 8/10
Navrhovaná známka
B
Body
88

Posudek oponenta

Čudek, Pavel

Práce se zabývá metodou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek. Práce je členěna do kapitol navazujících na sebe v logickém pořadí. Teoretická část obsahuje úvod do environmentální rastrovací elektronové mikroskopie, popisuje detekci SE a BSE, typy rozptylu elektronů a princip napěťového kontrastu. Praktická část obsahuje popis měřícího zařízení, jeho nastavení a vlastní experimenty. Odborné zpracování celé práce je na vysoké úrovni a student splnil požadavky zadání bakalářské práce. Zobrazení výsledků z experimentů vynesené v 3D grafech je názorné a přehledné. K práci mám následující připomínky: - Máte nesrovnalosti v značení. Označení Variable Pressure SEM je ekvivalentní k označení Environmental SEM, nikoli k Low vacuum SEM. - Práce obsahuje větší množství stylistických chyb, překlepů a špatných formulací. Viz. "…mikroskopy typu VP nebo LV používají k detekci až na jednu výjimku pouze zpětně odražené elektrony…" místo "…. detektor zpětně odražených elektronů…" (str. 13), "…na Ústavu přístrojové techniky a v ČR" místo "Ústavu přístrojové techniky AV ČR…." (str. 25), atd. - Formální zpracování neodpovídá normě. Jedná se o umístění obrázků, popisů obrázků a obtékaní textů (např. obr. na straně 28 mají popisy nad obr. místo pod obr. a celkový popis je až na straně 29). Dále se jedná o popis tab. 1, který je vedle obr. místo nad obr. U všech obrázků chybí odkazy na použitou literaturu ze které byli čerpány. - Mřížka SD pro detekci SE v EREM (viz. str. 30) není spojena s elektrodou E2 a clonami A1 a A2, ale je propojena pouze s elektrodou E1. - Na přiloženém CD postrádám digitální formu práce, jsou zde pouze 2 textové soubory pro zadání do matlabu bez dalších informací o jejich obsahu, pojmenované "grafy.m" a "pokus1.m" I přes uvedené připomínky doporučuji práci k obhajobě a hodnotím známkou VELMI DOBŘE

Dílčí hodnocení
Kritérium Známka Body Slovní hodnocení
Splnění požadavků zadání A 19/20
Odborná úroveň práce A 45/50
Interpretace výsledků a jejich diskuse B 17/20
Formální zpracování práce D 6/10
Navrhovaná známka
B
Body
87

Otázky

eVSKP id 41280