Zdroj pro pulzní magnetronové naprašování
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Předkládaná práce se zabývá návrhem a konstrukcí generátoru pro magnetronové naprašování. Navržené zařízení je schopné generovat dva výstupní signály s obdélníkovým průběhem v protitaktním režimu. U obou výstupů lze nezávisle nastavit frekvenci, počet impulzů a střídu. Zdrojem obou signálů jsou dvě frekvenční syntézy řízené mikrokontrolerem PIC16F877A. Všechny parametry se nastavují pomocí čtyř tlačítek a jsou zobrazovány na alfanumerickém displeji s 16x4 znaky. Úprava střídy je realizována pomocí speciálního modulu.
The presented thesis deals with the design and assembly of the generator for pulse magnetron sputtering. The designed device is capable of generating two square wave signals via its counter-working outputs. Both signals have independently adjustable frequency, pulse count and duty ratio. Both signals originate from two frequency syntheses controlled by microcontroller PIC16F877A. All the settings are entered by four buttons and are shown on an alphanumeric display with 16x4 characters. The duty ratio is adjusted using a special module.
The presented thesis deals with the design and assembly of the generator for pulse magnetron sputtering. The designed device is capable of generating two square wave signals via its counter-working outputs. Both signals have independently adjustable frequency, pulse count and duty ratio. Both signals originate from two frequency syntheses controlled by microcontroller PIC16F877A. All the settings are entered by four buttons and are shown on an alphanumeric display with 16x4 characters. The duty ratio is adjusted using a special module.
Description
Keywords
impulzní magnetronové naprašování, pulzní magnetronové naprašování, impulzní generátor, pulzní generátor, protitaktní generátor, generátor obdélníkových impulzů, frekvenční syntéza, kmitočtová syntéza, fázový závěs, PIC16F877A, HD44780, inteligentní zobrazovač, střída, úprava střídy, pulse magnetron sputtering, pulse generator, push-pull generator, square wave signal generator, frequency synthesis, phase locked loop, PIC16F877A, HD44780, intelligent L. C. D., duty ratio, duty ratio adjustment
Citation
SCHULZ, J. Zdroj pro pulzní magnetronové naprašování [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika
Comittee
doc. Ing. František Urban, CSc. (předseda)
Ing. Roman Prokop, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Jiří Háze, Ph.D. (člen)
Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Date of acceptance
2008-06-09
Defence
Student seznámil komisi s ovsahem své diplomové práce.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení