Studium plazmových produktů pomocí hmotnostní spektrometrie
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract
Tenké vrstvy plazmových polymerů z tetravinylsilanu a směsi tetravinylsilanu s kyslíkem byly připravovány na křemíkových substrátech. Kyslík byl přidáván k tetravinylsilanu pro zlepšení kompatibility tenkých vrstev se skleněnými substráty. Hmotnostní spektrometrie byla využita během čištění depoziční komory ke kontrole zbytkových plynů a čistoty pracovních plynů a ke sledování neutrálních produktů a stability výboje během depozice.
Plasma polymer films of tetravinylsilane and mixture of tetravinylsilane and oxygen gas were deposited on silicon wafers. Oxygen gas was mixed in tetravinylsilane to improve the compatibility of thin films on glass substrates. Mass spectroscopy was employed during the cleaning of the deposition chamber to check residual gases and process gases, during plasma deposition to monitor neutral plasma species and to follow plasma stability.
Plasma polymer films of tetravinylsilane and mixture of tetravinylsilane and oxygen gas were deposited on silicon wafers. Oxygen gas was mixed in tetravinylsilane to improve the compatibility of thin films on glass substrates. Mass spectroscopy was employed during the cleaning of the deposition chamber to check residual gases and process gases, during plasma deposition to monitor neutral plasma species and to follow plasma stability.
Description
Citation
BUREŠ, M. Studium plazmových produktů pomocí hmotnostní spektrometrie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Chemie materiálů
Comittee
prof. RNDr. Josef Jančář, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Jaromír Havlica, DrSc. (člen)
prof. Ing. Ladislav Omelka, DrSc. (člen)
doc. RNDr. Jaroslav Petrůj, CSc. (člen)
prof. RNDr. Zdirad Žák, M.Sc., CSc. (člen)
Date of acceptance
2008-06-10
Defence
Diplomant přednesl výsledky své diplomové práce velmi jasně, přesně a s řadou vynikajících výsledků. Na dotazy oponenta odpověděl jasně a správně. V následné diskuzi se členy komise prokázal výborné znalosti problematiky diplomové práce.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení