Metoda napěťového kontrastu v ESEM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato práce se zabývá problematikou napěťového kontrastu v ESEM. Cílem práce bylo experimentálně ověřit vliv použitých detektorů v závislosti na podmínkách v komoře vzorku na velikost napěťového kontrastu. Podmínkami v komoře vzorku rozumíme tlak a pracovní podmínky detekce signálu.. Jako vzorek byl použit výkonový tranzistor.
This graduation thesis deals with the problem of voltage contrast in ESEM. The purpose of this work was to verify influence of used detectors in the dependence on conditions in specimen chamber on the size of voltage contrast. With the conditions in specimen chamber we understand pressure and working conditions of signal detection. We used power transistor as specimen.
This graduation thesis deals with the problem of voltage contrast in ESEM. The purpose of this work was to verify influence of used detectors in the dependence on conditions in specimen chamber on the size of voltage contrast. With the conditions in specimen chamber we understand pressure and working conditions of signal detection. We used power transistor as specimen.
Description
Citation
BUCHTA, M. Metoda napěťového kontrastu v ESEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
prof. Ing. Vojtěch Koráb, Dr., MBA (místopředseda)
prof. Ing. Lubomír Hudec, DrSc. (člen)
Ing. Zdenka Rozsívalová (člen)
doc. Ing. Vítězslav Novák, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2008-06-10
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s podstatnou částí své závěrečné práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Princip ionizačního detektoru.
Co jsou scintilace, kde vznikají.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení